[发明专利]一种高弯曲疲劳强度陶瓷封装外引线及制备方法在审
申请号: | 201710492703.4 | 申请日: | 2017-06-26 |
公开(公告)号: | CN107481989A | 公开(公告)日: | 2017-12-15 |
发明(设计)人: | 唐利锋;程凯;陈宇宁;谢新根;周昊;钟明权;王琛 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
主分类号: | H01L23/49 | 分类号: | H01L23/49;H01L21/48 |
代理公司: | 南京君陶专利商标代理有限公司32215 | 代理人: | 沈根水 |
地址: | 210016 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 弯曲 疲劳强度 陶瓷封装 外引 制备 方法 | ||
1.一种高弯曲疲劳强度陶瓷封装结构,其特征是包括外引线、耐腐蚀性涂层、导电性和焊接性功能涂层、金属化陶瓷底座,其中外引线焊接在金属化陶瓷底座上,耐腐蚀性涂层涂覆在外引线和金属化陶瓷底座表面,导电性和焊接性功能涂层涂覆在耐腐蚀性涂层表面。
2.一种高弯曲疲劳强度陶瓷封装外引线的制备方法,其特征是包括如下步骤:
a)选择导电性能良好、热膨胀系数(TEC)与陶瓷匹配、厚度为0.05mm~1.0mm的金属,如铜、铁、镍、铁-镍、铁-钴-镍金属或合金;
b)采用刻蚀、切割或者冲压的方式加工出符合要求的形状;
c)采用N2,H2或其混合气氛保护,最高300℃~1100℃的程序控温热处理去除材料表面缺陷并控制内部晶粒尺寸在1~80μm;
d)采用溅射或者镀覆工艺在表面沉积防护性和功能性金属或合金,如锌、铬、铜、镍、镍-钴、银、金,涂层厚度在1.3μm~8.9μm;
e)按照设计要求组装在一起,采用真空、N2,H2或其混合气氛保护条件下,温度在400℃~1100℃的特定程序控温炉内完成焊接;
f) 焊接后处理,在pH值为9~13的碱性溶液中处理1~10min、PH值为0~6的酸性溶液或特殊设备中处理1~10min以除引线表面的氧化层或污染物;
g) 功能性和防护性镀层沉积,在表面沉积的导电性、可焊性和耐蚀性等性能良好的金属或合金,如金、银、铜、镍、锌、铬,并控制镀层厚度在1.3~8.9μm内。
3.根据权利要求2所述的一种高弯曲疲劳强度陶瓷封装外引线的制备方法,其特征是焊接在真空、N2、H2或其混合气氛保护条件下,温度在400℃~1100℃的曲线的程序控温炉内完成。
4.根据权利要求2所述的一种高弯曲疲劳强度陶瓷封装外引线的制备方法,其特征是焊接后处理,在pH值为9~13的碱性溶液中处理1~10min,pH值为0~6的酸性溶液或表面处理设备中处理1~10min以除引线表面的氧化层或污染物。
5.根据权利要求2所述的一种高弯曲疲劳强度陶瓷封装外引线的制备方法,其特征是导电性、可焊性和耐蚀性能镀层沉积,在表面沉积的导电性、可焊性和耐蚀性性能良好的金属镍或其合金以及金层,并控制镀层厚度在1.3~8.9μm内。
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