[发明专利]EML设备上实现位置和角度定位的装置

权利要求书

1.一种EML设备上实现位置和角度定位的装置，其特征在于：包括底座以及设置在底座上用于放置垫片的凸台，所述凸台上表面设置有用于吸住垫片的凸台孔，所述凸台孔连通一负压接口，所述凸台周边设置有第一气缸、第二气缸和第三气缸，所述第一气缸的活塞上固定有与凸台上表面在同一平面的前夹，所述第二气缸的活塞上固定有能与前夹相向运动的后夹，所述第三气缸的活塞上固定有指向前夹与后夹间隙的推料夹，所述前夹、后夹和推料夹的端口都为平条形；运动过程为：首先所述第一气缸的带动前夹水平推动垫片向前移动预定位置后，所述第二气缸的再带动后夹推动垫片反向移动预定位置后，最后所述第三气缸带动推料夹在前夹与后夹的间隙间推动垫片平移到位，所述推料夹的推力大于前夹的推力大于后夹的推力大于凸台孔的吸力。

2.根据权利要求1所述EML设备上实现位置和角度定位的装置，其特征在于：所述凸台孔通过负压电磁阀连通一连接真空泵的负压接口，所述第一气缸上设置有前夹气缸电磁阀，所述第二气缸上设置有后夹气缸电磁阀，所述第三气缸上设置有推料夹气缸电磁阀，所述负压电磁阀、前夹气缸电磁阀、后夹气缸电磁阀和推料夹气缸电磁阀电性连接在上位机上。

3.根据权利要求1所述EML设备上实现位置和角度定位的装置，其特征在于：所述第一气缸上设置有前夹气缸减压阀，所述第二气缸上设置有后夹气缸减压阀，所述第三气缸上设置有推料夹气缸减压阀。

4.根据权利要求1所述EML设备上实现位置和角度定位的装置，其特征在于：所述负压接口上还设置有气压传感器。

5.根据权利要求1所述EML设备上实现位置和角度定位的装置，其特征在于：所述底座内还设置有调节第一气缸、第二气缸和第三气缸位置的微分调节头。