[发明专利]一种三维纳微图形的压印方法

权利要求书

1.一种三维纳微图形的压印方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、制作基于光刻胶上的三维立体模板；

S2、在基底上阶段式旋涂光刻胶，阶段式旋涂光刻胶依次包括一次旋涂光刻胶、抽真空和二次旋涂光刻胶；

S3、将制作于光刻胶上的图形作为模板压印到基底的光刻胶上。

2.根据权利要求1所述的三维纳微图形的压印方法，其特征在于，一次旋涂光刻胶的旋涂速度为每分钟2000-4000转，一次旋涂光刻胶的加热温度为150-250℃，一次旋涂光刻胶的加热保持时间为30-90分钟；

二次旋涂光刻胶的旋涂速度为每分钟4000-6000转，二次旋涂光刻胶的加热温度为250-350℃，二次旋涂光刻胶的加热保持时间为90-120分钟。

3.根据权利要求1所述的三维纳微图形的压印方法，其特征在于，光刻胶为IP-L液体负光刻胶或SU-8负光刻胶。

4.根据权利要求1所述的三维纳微图形的压印方法，其特征在于，光刻胶材料包括2-60％多官能度丙烯酸酯预聚物、40-98％溶剂、以及占多官能度丙烯酸酯预聚物总量的0.5-5％的紫外光自由基引发剂。

5.根据权利要求4所述的三维纳微图形的压印方法，其特征在于，多官能度丙烯酸酯预聚物包括两个或两个以上的加成聚合的丙烯酸酯基团，多官能度丙烯酸酯预聚物在室温下呈现液体状态，其粘度为1000-10000厘泊。

6.根据权利要求4所述的三维纳微图形的压印方法，其特征在于，溶剂为非反应性的溶剂或反应性单体；非反应性的溶剂选自乙二醇单甲醚、氯苯、甲苯、二甲苯、丙酮、甲乙酮、甲基异丁基酮甲酸酯、乙酸乙酯、、二甲基甲酰胺中的一种或多种；反应性单体包括甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸丙酯、丙烯酸丁酯中的一种或多种。

7.根据权利要求4所述的三维纳微图形的压印方法，其特征在于，紫外光自由基引发剂选自二苯甲酮、4-甲基二苯甲酮、安息香甲基醚中的一种或多种。

8.根据权利要求4所述的三维纳微图形的压印方法，其特征在于，光刻胶材料还包括增塑剂、固化加速剂、光敏剂、流平剂和脱模剂。

9.根据权利要求1所述的三维纳微图形的压印方法，其特征在于，三维立体模板为柔性高分子弹性体。