[发明专利]一种液晶天线及其制作方法

权利要求书

1.一种液晶天线，其特征在于，包括：天线阵列和至少一个惯性导航单元；其中，

所述天线阵列包括相对设置的第一基板和第二基板；所述天线阵列用于改变馈入液晶天线的电磁波信号的相位，形成对应目标方向的波束；

所述惯性导航单元位于所述第一基板面向所述第二基板的一面或位于所述第二基板面向所述第一基板的一面；其中，所述惯性导航单元用于确定天线在导航坐标系中的运动参数；所述惯性导航单元与所在基板之间具有种子层。

2.如权利要求1所述的液晶天线，其特征在于，所述天线阵列，包括：

位于所述第二基板与所述第一基板之间，且沿所述第一基板指向所述第二基板的方向依次为第一电极、第一配向层、液晶层和隔垫物、第二配向层、第二电极，以及位于所述第一基板背离所述第二基板一面的呈矩阵排列的多个贴片单元；其中，

所述贴片单元用于向外空间辐射电磁信号或接收外空间的电磁信号；

所述隔垫物支撑于所述第一配向层与所述第二配向层之间。

3.如权利要求2所述的液晶天线，其特征在于，所述贴片单元、所述第一电极和所述第二电极的材料为高电导率金属材料。

4.如权利要求3所述的液晶天线，其特征在于，所述贴片单元的形状为矩形。

5.如权利要求1-4任一项所述的液晶天线，其特征在于，所述天线阵列的形状为圆形阵列、方形阵列或八边形阵列中的任意一种。

6.如权利要求1所述的液晶天线，其特征在于，所述惯性导航单元，包括：至少一个加速度计；

所述加速度计用于检测天线在三维方向的平移运动的加速度，确定天线的平移运动参数。

7.如权利要求6所述的液晶天线，其特征在于，所述惯性导航单元，还包括：至少一个陀螺仪；

所述陀螺仪用于测量天线在三维方向的转动运动参数。

8.如权利要求1所述的液晶天线，其特征在于，所述惯性导航单元位于包围所述天线阵列的周边区域内。

9.一种如权利要求1-8任一项所述的液晶天线的制作方法，其特征在于，包括：

采用半导体制作工艺形成所述天线阵列；其中，所述天线阵列包括相对设置的第一基板和第二基板；

在所述第一基板面向所述第二基板一面或所述第二基板面向所述第一基板一面形成种子层；

在形成的所述种子层之上采用半导体制作工艺和牺牲层工艺形成所述惯性导航单元。

10.如权利要求9所述的制作方法，其特征在于，在形成的所述种子层之上采用半导体制作工艺和牺牲层工艺形成所述惯性导航单元，具体包括：

在形成的所述种子层之上采用半导体制作工艺形成包括牺牲层的所述惯性导航单元的多膜层立体结构；

对所述牺牲层进行释放工艺形成所述惯性导航单元的立体结构。