[发明专利]一种薄膜制作方法及系统

说明书

本发明公开一种薄膜制作方法及系统，涉及薄膜制作技术领域，为提高制得薄膜的厚度均匀性。所述薄膜制作方法包括：在衬底基板形成覆盖衬底基板表面的油墨层，向油墨层吹气，使得油墨层中的溶剂向衬底基板四周区域展开；去除油墨层中的溶剂，使得油墨层中的成膜材料形成覆盖在衬底基板表面的薄膜。所述薄膜制作系统包括上述技术方案所提的薄膜制作方法。本发明提供的薄膜制作方法用于制作薄膜。

技术领域

本发明涉及薄膜制作技术领域，尤其涉及一种薄膜制作方法及系统。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，缩写为OLED)显示装置因具有自发光、反应快、视角广、亮度高和色彩艳等优点而被广泛应用于显示技术中。

OLED显示装置包括依次形成于衬底基板上的阳极、有机功能层和阴极，其中，有机功能层需要通过薄膜制备工艺进行，在各种成膜工艺中，首先需将作为溶质的有机功能层材料与溶剂混合，并将混合后的液体涂覆在衬底基板上，继而对涂覆后的衬底基板进行干燥，以得到沉积在衬底基板上由有机功能层材料组成的薄膜。但是，在上述干燥过程中，由于位于衬底基板中间的液体被位于衬底基板边缘的液体所包围，导致位于衬底基板中间的液体的溶剂挥发速率小于位于衬底基板边缘的溶剂挥发速率，出现干燥后衬底基板表面薄膜厚度不均匀的问题，而薄膜厚度的均匀性对OLED显示器的显示品质有着重要影响，厚度不均将影响OLED显示器的亮度、光色甚至寿命。

发明内容

本发明的目的在于提供一种薄膜制作方法及系统，用于提高制得薄膜的厚度均匀性。

为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种薄膜制作方法，包括：

在衬底基板形成覆盖衬底基板表面的油墨层，油墨层包括溶剂和溶解在溶剂中的成膜材料；

向油墨层吹气，使得油墨层中的溶剂向衬底基板四周区域展开；

去除油墨层中的溶剂，使得油墨层中的成膜材料形成覆盖在衬底基板表面的薄膜。

与现有技术相比，本发明提供的薄膜制作方法，首先在衬底基板形成覆盖衬底基板表面的油墨层，然后向油墨层吹气，使得油墨层中的溶剂向衬底基板四周区域展开，这样就避免出现衬底基板表面部分区域的油墨层被四周区域的油墨层包围的现象，使得衬底基板表面各区域的油墨层中溶剂的挥发不受阻碍，从而使衬底基板表面各区域油墨层中的溶剂挥发速率趋于一致，保证了在溶剂挥发完毕后，在衬底基板表面形成厚度均匀的薄膜。

本发明还提供一种薄膜制作系统，包括打印装置、吹气装置和干燥装置，其中，打印装置用于在衬底基板形成覆盖衬底基板表面的油墨层，油墨层包括溶剂和溶解在溶剂中的成膜材料；

吹气装置用于向油墨层吹气，使得油墨层中的溶剂向衬底基板四周区域展开；

干燥装置用于去除油墨层中的溶剂，使得油墨层中的成膜材料形成覆盖在衬底基板表面的薄膜。

与现有技术相比，本发明提供的薄膜制作系统的有益效果与上述薄膜制作方法的有益效果相同，在此不再赘述。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本发明的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1为本发明实施例一提供的薄膜制作方法流程图一；

图2为本发明实施例一提供的薄膜制作方法流程图二；

图3为本发明实施例二提供的薄膜制作系统的示意图。

附图标记：

1-吹气装置， 2-衬底基板；