[发明专利]一种薄膜制作方法及系统

权利要求书

1.一种薄膜制作方法，其特征在于，包括：

通过喷墨打印的方式在衬底基板形成覆盖衬底基板表面的油墨层，所述油墨层包括液态溶剂和溶解在液态溶剂中的成膜材料；

向所述油墨层吹气，使得所述油墨层中的液态溶剂向衬底基板四周区域展开；

去除所述油墨层中的液态溶剂，使得所述油墨层中的成膜材料形成覆盖在衬底基板表面的薄膜。

2.根据权利要求1所述的薄膜制作方法，其特征在于，所述油墨层的粘度为1cP～20cP。

3.根据权利要求1所述的薄膜制作方法，其特征在于，所述向油墨层吹气，使得油墨层中的溶剂向衬底基板四周区域展开，包括：

向所述油墨层吹气，使得所述油墨层中的溶剂从衬底基板的几何中心向衬底基板四周区域展开。

4.根据权利要求1所述的薄膜制作方法，其特征在于，所述在衬底基板形成覆盖衬底基板表面的油墨层，包括：

通过喷墨打印的方式在衬底基板形成覆盖衬底基板表面的油墨层。

5.根据权利要求1所述的薄膜制作方法，其特征在于，所述向油墨层吹气时，气体流速为0.1m/s～10m/s，吹气时间为300s～400s。

6.根据权利要求1所述的薄膜制作方法，其特征在于，所述在衬底基板形成覆盖衬底基板表面的油墨层之前，所述薄膜制作方法还包括：将所述衬底基板放于薄膜制程腔室中；

所述向油墨层吹气，使得油墨层中的溶剂向衬底基板四周区域展开之后，所述去除油墨层中的溶剂之前，所述薄膜制作方法还包括：抽除所述薄膜制程腔室中带有溶剂的气体。

7.根据权利要求6所述的薄膜制作方法，其特征在于，所述抽除薄膜制程腔室中带有溶剂的气体，包括：

在衬底基板的周向设置抽气装置；

利用抽气装置抽除薄膜制程腔室中带有溶剂的气体。

8.根据权利要求1所述的薄膜制作方法，其特征在于，所述去除油墨层中的溶剂，使得所述油墨层中的成膜材料形成覆盖在衬底基板表面的薄膜，包括：

通过热板加热油墨层、热风加热油墨层、微波加热油墨层或红外线加热油墨层，使得所述油墨层中的成膜材料形成覆盖在衬底基板表面的薄膜。

9.一种薄膜制作系统，其特征在于，包括打印装置、吹气装置和干燥装置，其中，所述打印装置用于在衬底基板形成覆盖衬底基板表面的油墨层，所述油墨层包括液态溶剂和溶解在液态溶剂中的成膜材料；

所述吹气装置用于向所述油墨层吹气，使得所述油墨层中的液态溶剂向衬底基板四周区域展开；

所述干燥装置用于去除油墨层中的液态溶剂，使得所述油墨层中的成膜材料形成覆盖在衬底基板表面的薄膜。

10.根据权利要求9所述的薄膜制作系统，其特征在于，所述打印装置为喷墨打印装置。

11.根据权利要求9所述的薄膜制作系统，其特征在于，所述干燥装置包括热板加热装置、热风加热装置、微波加热装置、红外加热装置中的一种或两种以上组合。

12.根据权利要求9所述的薄膜制作系统，其特征在于，还包括薄膜制程腔室和抽气装置，所述抽气装置和所述衬底基板位于所述薄膜制程腔室中，所述抽气装置沿所述衬底基板的周向设置，所述抽气装置用于抽除薄膜制程腔室中带有溶剂的气体。

13.根据权利要求12所述的薄膜制作系统，其特征在于，所述抽气装置为真空泵。