[发明专利]全自动硅片插片机

权利要求书

1.一种全自动硅片插片机，包括用于承载相同硅片的大花篮(23)和小花篮(24)，大花篮(23)和小花篮(24)均具有开口向上的容纳腔，容纳腔内均等间隔分布有若干用于插设硅片的插槽(25)，大花篮(23)中相邻两个插槽(25)的间距与小花篮(24)中相邻两个插槽(25)的间距相等，其特征在于：还包括底座(1)，所述底座(1)上设置有侧板(2)，所述侧板(2)上固定有Z轴进给机构，所述Z轴进给机构上设有X轴进给机构，所述Z轴进给机构用于驱动X轴进给机构沿Z轴方向运动，所述X轴进给机构上设置有Y轴进给机构，所述X轴进给机构用于驱动Y轴进给机构沿X轴方向运动，所述Y轴进给机构上设置有回转气缸(3)；

所述回转气缸(3)的伸出端上固定有具有双向行程的双杆气缸(4)，所述双杆气缸(4)的两个伸出端上分别固定有第一夹板(5)和第二夹板(6)；

所述第一夹板(5)的外侧向外延伸有侧座(8)，所述侧座(8)上固定有第二气缸(7)，所述第二气缸(7)的伸出端朝向所述第二夹板(6)，所述第二气缸(7)的伸出端上固定有挡板(9)；

所述底座(1)上具有用于放置小花篮(24)的第一平台(10)和用于放置大花篮(23)的第二平台(11)，所述第二平台(11)上开设有与大花篮(23)相匹配的定位孔(11-1)，所述第二平台(11)的下方设置有通风套(12)，所述通风套(12)的上端端部位于定位孔(11-1)中，所述通风套(12)与定位孔(11-1)连通，所述底座(1)上设置有气泵(13)，所述气泵(13)的出风口与通风套(12)连通。

2.根据权利要求1所述的全自动硅片插片机，其特征在于：所述Z轴进给机构包括第一电机(14)、第一基座(15)及第一滑座(16)，所述第一基座(15)固定在侧板(2)上，所述第一电机(14)固定在第一基座(15)上，所述第一电机(14)的输出端上固定有第一丝杠(17)，所述第一滑座(16)与第一丝杠(17)螺纹连接，所述第一滑座(16)与第一基座(15)滑动连接。

3.根据权利要求2所述的全自动硅片插片机，其特征在于：所述X轴进给机构包括第二电机(18)、第二基座(19)及第二滑座(20)，所述第二基座(19)固定在第一滑座(16)上，所述第二电机(18)固定在第二基座(19)上，所述第二电机(18)的输出端上固定有第二丝杠(21)，所述第二滑座(20)与第二丝杠(21)螺纹连接，所述第二滑座(20)与第二基座(19)滑动连接。

4.根据权利要求1所述的全自动硅片插片机，其特征在于：所述Y轴进给机构包括第一气缸(22)，所述第一气缸(22)的缸体固定在第二滑座(20)上，所述第一气缸(22)的伸出端与回转气缸(3)的缸体固定连接，所述第一气缸(22)伸出端的轴线方向与回转气缸(3)伸出端的轴线方向垂直。