[发明专利]一种多功能半导体电学性质快速测试装置及方法

权利要求书

1.一种多功能半导体电学性质快速测试装置，包括多功能样品杆、管式加热炉、双排端子接线板和电学性质测试仪表，其特征在于：所述多功能样品杆设置在管式加热炉中，所述管式加热炉中设有三孔氧化铝隔热砖，所述多功能样品杆的三根刚玉芯用三孔矩形管夹固定，并通过银线将三个待测样品与双排端子接线板的三组第一镀银端子接线柱连接，所述双排端子接线板两端的第一镀银端子接线柱和第二镀银端子接线柱通过银线连接，所述第二镀银端子接线柱分别连接三个接头，所述电学性质测试仪表的四根导线与一个可插拔四端子导线插座连接，所述可插拔四端子导线插座与三个接头当中的任意一个接头连接。

2.根据权利要求1所述的一种多功能半导体电学性质快速测试装置，其特征在于：所述多功能样品杆由四孔刚玉管、测试台、连接测试台和四孔刚玉管的连接杆构成；所述四孔刚玉管由矩形管夹固定，所述连接杆由喉箍卡固定；所述测试台包括螺丝、样品台、待测样品、成对刚玉片、可控长度螺丝组成；所述螺丝连接连接杆；所述成对刚玉片包括第一刚玉片、第二刚玉片，所述待测样品设置于样品台上，所述待测样品设置在第一刚玉片与第二刚玉片之间，所述待测样品引出的银丝穿过第二刚玉片，与四孔刚玉管引出的四根银丝相互打结，所述可控长度螺丝设置在成对刚玉片外侧。

3.根据权利要求1所述的一种多功能半导体电学性质快速测试装置，其特征在于：所述管式加热炉包括程序控温管式马弗炉、钢制进气法兰、减压器以及相关气瓶和通气管路；所述钢制进气法兰固定在程序控温管式马弗炉的进气一侧，钢制进气法兰进气嘴经通气管路与气氛混合与流量控制设备连接，气氛混合与流量控制设备通过减压器与相关气瓶连接。

4.根据权利要求1所述的一种多功能半导体电学性质快速测试装置，其特征在于：所述银线的直径为0.7mm；所述银线外包热缩绝缘管。

5.根据权利要求1所述的一种多功能半导体电学性质快速测试装置，其特征在于：所述电学性质测试仪表包括交、直流电学性质快速切换装置，交、直流电学性质快速切换装置由个接线板，第一四端子接线公头、第二四端子接线公头、第三四端子接线公头，四端子接线母头以及若干条导线组成，所述接线板由三排镀银接线柱构成，其中第一、第三两排分别为12个间距为10mm的镀银端子，第二排为6个间距为20mm的镀银端子，所述接线板的第一排12个接线端子分别与第一六孔刚玉管、第二六孔刚玉管、第三六孔刚玉管引出的12条直流测试导线连接，同时第一排的12个接线端子与第三排对应的12个接线端子在接线板底部经导线连接，第三排的12个接线端子通过导线与第一四端子接线公头、第二四端子接线公头、第三四端子接线公头连接；四端子接线母头引出的4条导线分别接入直流电学性质测试设备的电流输出端以及电位测试端，所述接线板的第二排6个接线端子分别与第一六孔刚玉管、第二六孔刚玉管、第三六孔刚玉管引出的6条交流测试导线连接，在第二排6个接线端子引出的导线中，每对对应的交流电压、电流端连接在一个开尔文夹子上。

6.实现权利要求1所述的一种多功能半导体电学性质快速测试装置的使用方法，其特征在于：其使用方法包括以下步骤：

A、多功能样品杆的三根刚玉芯用三孔矩形管夹固定，通过银线将三个待测样品与双排端子接线板的三组镀银端子接线柱连接；

B、再用银线将双排端子接线板两端的三组镀银端子接线柱连接，最后将三组镀银端子接线柱与对应的三个可插拔四端子导线接头用银线连接；银线外包热缩绝缘管，将多功能样品杆置入管式加热炉中，并从右向左通入特定低压气体；

C、电学性质测试仪表的四根导线与一个可插拔四端子导线插座连接，该插座可与三个接头当中的任意一个连接；

D、将待测样品置于样品台上，待测样品置于第一刚玉片与第二刚玉片之间，待测样品引出的银丝穿过第二刚玉片，与四孔刚玉管引出的四根银丝相互打结，之后调节可控长度螺丝的长度，使得可控长度螺丝把第一刚玉片和第二刚玉片和待测样品压在样品台上；实现针对某特定样品在特定测试条件下的电学性质表征。