[发明专利]具有金属海绵的金属柱有效
| 申请号: | 201710101747.X | 申请日: | 2017-02-24 |
| 公开(公告)号: | CN107230644B | 公开(公告)日: | 2020-06-12 |
| 发明(设计)人: | 胡迪群 | 申请(专利权)人: | 胡迪群 |
| 主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L23/525;H01L23/532;H05K1/18 |
| 代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 隆翔鹰 |
| 地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 具有 金属 海绵 | ||
1.一种具有金属海绵的金属柱,其特征是,包括第一金属柱、第二金属柱、第一金属海绵和第二金属海绵,其中:
第一金属柱与第二金属柱配置在第一电子组件的底面,且所述第一金属柱和所述第二金属柱之间具有高度差;
第一金属海绵配置在所述第一金属柱的前端,第二金属海绵配置在所述第二金属柱的前端;
所述金属海绵具有压缩性,后续在电性耦合时,可以吸收所述第一金属柱和所述第二金属柱之间的高度差。
2.根据权利要求1所述具有金属海绵的金属柱,其特征是,还包括第一金属焊垫和第二金属焊垫、第一焊料层和第二焊料层,其中:
第一金属焊垫和第二金属焊垫配置在第二电子组件的表面;
第一焊料层配置在所述第一金属焊垫的表面;
第二焊料层配置在所述第二金属焊垫的表面;
当所述第一金属柱的金属海绵和第二金属柱的金属海绵分别电性耦合至所述第一金属焊垫、第二金属焊垫时,焊料层受热熔化过程中,至少局部被吸收到所述金属海绵中,增强所述金属柱电性耦合到所述金属焊垫的稳固度。
3.根据权利要求1所述具有金属海绵的金属柱,其特征是,还包括第三金属柱与第四金属柱、第三金属海绵、第四金属海绵和第二金属,其中:
第三金属柱与第四金属柱配置在第二电子组件的表面;
第三金属海绵配置在所述第三金属柱的前端;
第四金属海绵配置在所述第四金属柱的前端;
第二金属分别设置于所述第三金属海绵和所述第四金属海绵的前端,所述第二金属的硬度大于所述金属海绵的硬度;
所述金属海绵具有压缩性,可以弥补所述第一金属柱和所述第二金属柱之间的高度差,也可以弥补所述第三金属柱和所述第四金属柱之间的高度差;
后续在电性耦合时,第三金属海绵以及第四金属海绵前端较硬的第二金属,分别可以刺入第一金属柱和所述第二金属柱的前端金属海绵。
4.根据权利要求3所述具有金属海绵的金属柱,其特征是,所述金属海绵是铜金属,所述第二金属是镍金属,较硬的镍金属设置于金属海绵的前端,提高金属海绵的前端坚硬度。
5.根据权利要求4所述具有金属海绵的金属柱,其特征是,还包括金Au,设置于所述镍金属的表面;较硬的镍金Ni-Au构成所述第二金属,设置于金属海绵的前端,提高金属海绵的前端坚硬度。
6.根据权利要求1所述具有金属海绵的金属柱,其特征是,还包括多个凹槽金属垫,配置在第二电子组件的顶面;每个凹槽金属垫包括凹槽以及配置在凹槽表面的金属;凹槽金属垫适于对应的金属柱插入,第一电子组件与第二电子组件电性耦合以后,金属柱的金属海绵卡固于凹槽,紧密接触凹槽的表面金属而获得良好的电性耦合。
7.根据权利要求6所述具有金属海绵的金属柱,其特征是,所述凹槽金属垫,从截面图观之,呈矩形或多边形。
8.根据权利要求6所述具有金属海绵的金属柱,其特征是,电性耦合以后,所述金属柱前端挤压变形,形成凸块;所述凸块膨胀卡固于对应的凹槽,紧密接触凹槽的表面金属而获得良好的电性耦合。
9.根据权利要求8所述具有金属海绵的金属柱,其特征是,还包括焊料,配置在相应凹槽的表面金属的顶面;电性耦合以后,当焊料受热熔化过程中,至少局部被吸收到所述金属海绵中,增强所述金属柱电性耦合到所述凹槽金属垫的稳固度。
10.根据权利要求6所述具有金属海绵的金属柱,其特征是,所述凹槽金属垫的表面金属,延伸至凹槽上方基材表面,提供电性连接。
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