[发明专利]具有低介电常数的聚合物及降低聚合物介电常数的分子结构设计方法

说明书

本发明公开了一种具有低介电常数的聚合物及降低聚合物介电常数的分子结构设计方法，其利用聚合物分子链侧基的可设计性，在侧基苯环或联苯基链段结构间位引入直链刚性基团，通过侧基苯环的松弛旋转在材料中形成更大尺寸的自由体积空穴，抑制分子链堆积，进而降低聚合物材料介电常数。本发明的设计方法简单，适用于常见的高性能聚合物材料，可应用于制备低介电聚合物材料，适用于电子、微电子、信息以及航空航天等高新技术产业领域，特别是超大规模集成电路领域。

技术领域

本发明涉及材料科学领域，特别是一种具有低介电常数的聚合物以及降低聚合物介电常数的分子结构设计方法。

技术背景

高密度、高速度、多功能型、高性能超大规模集成电路(ULSI)要求大芯片面积和小特征尺寸，为此必须增加布线密度，降低金属线的宽度和线间的距离。器件密度和连线密度大大增加，从而使互连系统中电阻和线间电容耦合迅速增大。使信号传输延迟甚至失真、干扰噪声增强和功率耗散增大，成为高性能超大规模集成电路(ULSI)进一步发展的瓶颈。根据信号传输延迟(RC)和功率(P)的计算公式模型和相关理论，要实现降低集成电路的RC延迟和降低能耗P，这一问题的解决有赖于新型低介电层间材料的开发及应用。

根据克劳修斯-莫索提方程(Clausius-Mossotti equation)可知，要实现降低材料介电常数，最有效的方法是增大材料的内部空隙。但是增大材料内部空隙的同时，很可能会损害材料的其它性能(如力学性能、热稳定性以及吸湿率等)。聚合物材料本体中存在的自由体积是聚合物的本征特性，属于聚合物材料的本征性空隙，其尺寸在亚纳米级别，在材料内部均匀分散，其大小与聚合物链结构密切相关，对于材料综合性能的稳定性影响较小。

增大聚合物材料的自由体积可以通过对其分子链结构进行设计来实现，如专利CN105622834A、CN105860075A等通过在聚合物分子结构中引入含氟组分抑制了材料分子间的紧密堆砌，有效地降低了聚合物材料的介电常数，但是含氟组分的大量引入会导致材料的粘结性能降低，高温下释放的氢氟酸具有极强的腐蚀性，对环境友好性较差，无法应用于精密电子器件领域。专利CN105461924A、CN1302254等通过在聚合物分子结构中引入大体积基团，阻碍分子间的紧密堆砌，也在一定程度上降低了材料的介电常数，但是这种方法设计的聚合物分子结构较为复杂，不可避免的会导致材料生产工艺复杂性和生产成本的大幅提高，难以实现大规模工业化生产。此外，降低聚合物材料介电常数还可以通过物理致孔方式来实现，如微发泡、添加致孔剂等，但这类办法会造成材料的机械性能下降，吸水性提高等，影响材料的实际应用价值。

发明内容

本发明的目的是提供一种具有低介电常数的聚合物及降低聚合物介电常数的分子结构设计方法，其具有工艺简单、成本较低、易于工业生产等优点。

本发明的目的是这样实现的：一种具有低介电常数的聚合物，其分子结构由主链结构和侧基结构组成，其特征在于：所述的侧基结构具有与主链结构连接的苯环或联苯基链段，且在苯环或联苯基链段上的间位具有刚性直链型结构的取代基。

所述的侧基结构中有结构通式Ⅰ或Ⅱ的一种或两种以上：

其中，X₁选自下列结构式中的任何一种且0≤n＜10：

Y₁选自下列结构式中的任何一种且0≤n＜10：

Z选自下列结构式中的任何一种且0≤m＜10：

一种可降低聚合物介电常数的分子结构设计方法，其特征在于：在聚合物的主链结构引入侧基结构，该侧基结构具有与主链结构连接的苯环或联苯基链段，且在苯环或联苯基链段上的间位具有刚性直链型结构的取代基。