[发明专利]芯片封装器件及封装方法在审

专利信息
申请号: 201710061017.1 申请日: 2017-01-25
公开(公告)号: CN108346587A 公开(公告)日: 2018-07-31
发明(设计)人: 张万宁;于德泽 申请(专利权)人: 新加坡有限公司
主分类号: H01L21/56 分类号: H01L21/56;H01L21/768;H01L23/31;H01L23/538;H01L25/18
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 王仙子
地址: 新加坡兀兰1*** 国省代码: 新加坡;SG
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摘要:
搜索关键词: 芯片封装 承载板 塑封芯片 粘接层 绝缘层 终端产品 芯片 塑封层 减小 开孔 封装 金属导体层 互连电路 塑封工艺 芯片间隔 填满 移除 切割
【说明书】:

发明提供了一种芯片封装器件及封装方法,所述芯片封装方法包括:提供一承载板,所述承载板上设置有第一粘接层;将多个芯片间隔放置于所述第一粘接层上;采用塑封工艺在所述承载板上形成塑封层,所述塑封层填满多个所述芯片之间的间隙,形成塑封芯片;移除所述承载板与第一粘接层;在所述塑封芯片上形成绝缘层,在所述绝缘层上形成开孔,在所述开孔内形成金属导体层以及芯片之间的互连电路;对所述塑封芯片进行切割,形成多个模块;采用本发明所述的芯片封装方法,能够减小芯片之间的距离,最终减小终端产品的面积,有利于实现终端产品的小型化。

技术领域

本发明涉及芯片封装的技术领域,特别涉及一种芯片封装器件及封装方法。

背景技术

绝缘栅双极晶体管(Insulated Gate Bipolar Transistor,IGBT)是由BJT(双极型三极管)和MOS(绝缘栅型场效应管)组成的复合全控型电压驱动式功率半导体器件,兼具MOS的高输入阻抗和GTR(巨型晶体管)的低导通压降两方面的优点。GTR饱和压降低,载流密度大,但驱动电流较大,MOS驱动功率很小,开关速度快,但导通压降大,载流密度小。IGBT综合了以上两种器件的优点,驱动功率小而饱和压降低,非常适合应用于直流电压为600v及以上的变流系统如交流电机、变频器、开关电源、照明电路、牵引传动等领域。

图1为现有技术中IGBT模块的封装结构示意图,如图1所示,所述封装结构包括:铝碳化硅散热板1,依次位于所述铝碳化硅散热板1之上的第一焊料层2、第一铜层3、陶瓷层4以及第二铜层5,位于所述第二铜层5上彼此隔开的第二焊料层6与第三铜层7,以及位于所述第二焊料层6上的彼此隔开的二极管芯片8与IGBT 9。所述二极管芯片8、IGBT 9以及第三铜层7通过导线10相连接。

所述导线10一般为金线、铝线或铜线,线连接的缺点是导线长,电阻大,电能转换成不必要的热能。功率器件的金属线为保证低电阻率,和加强散热,必须使用粗线,在0.1毫米以上,普通的只有0.25毫米。这样就使芯片与衬底的互联距离很大,芯片之间的互联也要比普通芯片大,使得终端产品面积比较大。

因此,提供一种缩小芯片之间距离的封装,减小终端产品面积是本领域技术人员亟需解决的一个技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种芯片封装器件及封装方法,减小芯片之间的距离,最终减小终端产品的面积。

本发明的技术方案是一种芯片封装方法,包括以下步骤:

步骤S01:提供一承载板,所述承载板上设置有第一粘接层;

步骤S02:将多个芯片间隔放置于所述第一粘接层上;

步骤S03:采用塑封工艺在所述承载板上形成塑封层,所述塑封层填满多个所述芯片之间的间隙,形成塑封芯片;

步骤S04:移除所述承载板与第一粘接层;

步骤S05:在所述塑封芯片上形成绝缘层,在所述绝缘层上形成开孔,在所述开孔内形成金属导体层以及芯片之间的互连电路;

步骤S06:对所述塑封芯片进行切割,形成多个模块。

进一步的,还包括:

步骤S07:提供一基板,所述基板上形成有多个金属垫结构,所述金属垫结构与所述模块内的芯片一一对应;

步骤S08:在所述金属垫结构上形成第二粘接层;

步骤S09:将所述模块远离所述绝缘层的一侧粘接至所述基板。

进一步的,所述第二粘接层的材料为焊锡;在步骤S09中,将所述模块用贴片机放置于所述基板上,通过回流炉,使所述模块远离所述绝缘层的一侧粘接至所述基板。

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