[发明专利]一种探针部件及其制作方法、以及探针块和检测装置

权利要求书

1.一种探针部件，其特征在于，包括：绝缘层，探针，以及连接线；其中，

所述绝缘层设置有过孔；所述连接线设置于所述绝缘层的一表面；所述探针设置在所述过孔中，且一端凸出于所述过孔、另一端与所述连接线相连。

2.如权利要求1所述的探针部件，其特征在于，所述绝缘层的材料为聚酰亚胺。

3.如权利要求1所述的探针部件，其特征在于，所述探针凸出于所述过孔的高度为0.015mm-0.03mm。

4.如权利要求1所述的探针部件，其特征在于，所述探针部件包括多个过孔，所述多个过孔在所述绝缘层上按照第一间隔平行排列。

5.如权利要求1所述的探针部件，其特征在于，所述探针部件包括多个过孔，所述多个过孔在所述绝缘层上按照第二间隔排列，且所述多个过孔中每连续的至少两个过孔之间错位排列。

6.如权利要求1所述的探针部件，其特征在于，每个所述连接线完全覆盖与该所述连接线对应的过孔。

7.一种探针块，其特征在于，包括：柔性电路，驱动集成电路，以及如权利要求1-6中任一项所述的探针部件。

8.一种检测装置，包括信号转换装置，其特征在于，所述检测装置还包括如权利要求7所述的探针块。

9.一种如权利要求1-6任一项所述探针部件的制作方法，其特征在于，包括：

在载体上形成一整层的绝缘层；

在所述绝缘层的一侧表面上形成连接线；

在所述绝缘层上远离所述连接线的一侧制作过孔，并使所述过孔仅贯穿所述绝缘层；

在所述过孔中制作探针，并使所述探针的一端凸出于所述过孔，另一端与所述连接线相连。

10.如权利要求9所述的方法，其特征在于，在所述过孔中制作探针，具体包括：

在所述过孔中采用过孔电镀工艺制作探针。