[发明专利]具有高抗短路能力的IGBT器件在审
申请号: | 201710007163.6 | 申请日: | 2017-01-05 |
公开(公告)号: | CN106783988A | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
发明(设计)人: | 程炜涛;姚阳;王海军;叶甜春 | 申请(专利权)人: | 江苏中科君芯科技有限公司 |
主分类号: | H01L29/739 | 分类号: | H01L29/739;H01L29/423 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙)32104 | 代理人: | 曹祖良,涂三民 |
地址: | 214135 江苏省无锡市新吴区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 短路 能力 igbt 器件 | ||
1.一种具有高抗短路能力的IGBT器件,包括P阱(1)、第一栅极(2)、发射极(3)、第一绝缘氧化层(4)、P+区域(5)、金属层(6)、FS层(7)、集电极(8)、第二栅极(9)、基区(10)与第二绝缘氧化层(11),其特征是:在集电极(8)上设有FS层(7),在FS层(7)上设有基区(10),在基区(10)上设有P阱(1),在P阱(1)上设有金属层(6),在金属层(6)内设有左右两个第一绝缘氧化层(4),在左右两个第一绝缘氧化层(4)之间的金属层(6)内设有第二绝缘氧化层(11),在第一绝缘氧化层(4)的下端部连接有第一栅极(2),在第二绝缘氧化层(11)的下端部连接有第二栅极(9),第一栅极(2)与第二栅极(9)的下端部均位于基区(10)内,在第一栅极(2)的上端部的左右两侧以及在第二栅极(9)的上端部的左右两侧均设有发射极(3),位于第二栅极(9)与第一栅极(2)之间的两个发射极(3)之间以及位于第一栅极(2)外侧的发射极(3)上连接有P+区域(5)。
2.如权利要求1所述的具有高抗短路能力的IGBT器件,其特征是:所述第二栅极(9)的宽度大于第一栅极(2)的宽度。
3.如权利要求1所述的具有高抗短路能力的IGBT器件,其特征是:所述第二绝缘氧化层(11)的宽度大于第一绝缘氧化层(4)的宽度。
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