[发明专利]MIM电容器及其制造方法

权利要求书

1.一种金属-绝缘体-金属电容器，包括：

第一金属板；

在所述第一金属板上的第一电介质层；

在所述第一电介质层上的第二金属板，所述第二金属板在第一侧和与所述第一侧相对的第二侧之间具有锥形轮廓，并且所述第二侧比所述第一侧更长；以及

在所述第二金属板上的第三金属板。

2.根据权利要求1所述的金属-绝缘体-金属电容器，其中所述第二金属板具有梯形轮廓。

3.根据权利要求1所述的金属-绝缘体-金属电容器，其中所述第一金属板和所述第二金属板具有梯形轮廓。

4.根据权利要求1所述的金属-绝缘体-金属电容器，其中所述第二金属板具有弯曲的梯形轮廓。

5.根据权利要求1所述的金属-绝缘体-金属电容器，其中所述第一金属板和所述第二金属板具有弯曲的梯形轮廓。

6.根据权利要求1所述的金属-绝缘体-金属电容器，其中所述第一金属板、所述第二金属板和所述第一电介质层形成电容器，并且所述第三金属板包括无源器件。

7.根据权利要求1所述的金属-绝缘体-金属电容器，其中所述第一金属板具有2-3μm的厚度，所述第二金属板具有1μm的厚度，并且所述第三金属板具有10-20μm的厚度。

8.根据权利要求1所述的金属-绝缘体-金属电容器，其中所述金属-绝缘体-金属电容器被并入到选自以下组的设备中，所述组包括音乐播放器、视频播放器、娱乐单元、导航设备、通信设备、移动设备、移动电话、智能电话、个人数字助理、固定位置终端、平板计算机、计算机、可穿戴设备、膝上型计算机、服务器以及在汽车车辆中的汽车设备。

9.根据权利要求1所述的金属-绝缘体-金属电容器，进一步包括：

输入端口，被配置用于第一外部连接并且被耦合到所述第三金属板；以及

输出端口，被配置用于第二外部连接并且被耦合到第一金属板。

10.根据权利要求1所述的金属-绝缘体-金属电容器，进一步包括：

第五金属板，在所述第一金属板上接近于所述第三金属板并且与所述第三金属板间隔开；

输入端口，被配置用于第一外部连接并且被耦合到所述第三金属板；以及

输出端口，被配置用于第二外部连接并且被耦合到第五金属板。

11.根据权利要求1所述的金属-绝缘体-金属电容器，进一步包括：

第二电介质层，在所述第一金属板上接近于所述第一电介质层并且与所述第一电介质层间隔开；

在所述第二电介质层上的第四金属板，所述第四金属板在第三侧和与所述第一侧相对的第四侧之间具有锥形轮廓，并且所述第三侧比所述第四侧更长；以及

在所述第四金属板上的第五金属板。

12.根据权利要求11所述的金属-绝缘体-金属电容器，其中所述第二金属板和所述第四金属板具有梯形轮廓。

13.根据权利要求11所述的金属-绝缘体-金属电容器，其中所述第一金属板、所述第二金属板和所述第四金属板具有梯形轮廓。

14.根据权利要求11所述的金属-绝缘体-金属电容器，其中所述第二金属板和所述第四金属板具有弯曲的梯形轮廓。

15.根据权利要求11所述的金属-绝缘体-金属电容器，其中所述第一金属板、所述第二金属板和所述第四金属板具有弯曲的梯形轮廓。