[发明专利]输送装置

权利要求书

1.一种输送装置，其包括输送构件，其中，

所述输送构件包括输送基材和载置构件，

所述载置构件包含纤维状柱状结构体，

所述纤维状柱状结构体是包括多个纤维状柱状物的纤维状柱状结构体，

所述纤维状柱状物沿与所述输送基材大致垂直的方向取向，并且

所述纤维状柱状结构体的位于所述输送基材所在侧的相反侧的表面相对于玻璃表面的静摩擦系数为2.0以上。

2.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于，所述输送装置包括臂部和连接到所述臂部的一端的手部，

所述臂部被配置成能够以所述臂部的另一端作为转动轴线中心沿水平方向转动，并且

所述手部由所述输送构件构成。

3.根据权利要求2所述的输送装置，其特征在于，所述臂部具有多关节结构。

4.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于，所述输送装置包括臂部和连接到所述臂部的两端的手部，

所述臂部被配置成能够以所述臂部的大致中央作为转动轴线中心沿水平方向转动，

所述手部由所述输送构件构成。

5.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于，所述输送构件被构造成能够在行进轨道上行进。

6.根据权利要求5所述的输送装置，其特征在于，所述输送装置包括所述行进轨道和被配置成能够在所述行进轨道上行进的台车，并且

所述输送构件配置在所述台车上。

7.一种输送方法，其包括通过输送构件保持被输送物，并且通过所述输送构件输送所述被输送物，其中，

所述输送构件包括输送基材和载置构件，

所述载置构件包含纤维状柱状结构体，

所述纤维状柱状结构体是包括多个纤维状柱状物的纤维状柱状结构体，

所述纤维状柱状物沿与所述输送基材大致垂直的方向取向，并且

所述纤维状柱状结构体的位于所述输送基材所在侧的相反侧的表面相对于玻璃表面的静摩擦系数为2.0以上。

8.根据权利要求7所述的输送方法，其特征在于，所述输送方法包括使用权利要求2至6中任一项所述的输送装置。

9.一种半导体器件的制造方法，所述制造方法包括使用权利要求1至6中任一项所述的输送装置。

10.根据权利要求9所述的半导体器件的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括多个步骤，并且

所述制造方法包括使用权利要求1至6中任一项所述的输送装置输送待受到构成所述制造方法的各步骤处理的被加工物。

11.一种光学构件的制造方法，所述制造方法包括使用权利要求1至6中任一项所述的输送装置。

12.根据权利要求11所述的光学构件的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括多个步骤，并且

所述制造方法包括使用权利要求1至6中任一项所述的输送装置输送待受到构成所述制造方法的各步骤处理的被加工物。