[发明专利]波导型光元件有效
| 申请号： | 201680002932.7 | 申请日： | 2016-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN106716235B | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 柳川哲平;近藤胜利;藤野哲也;市川润一郎 | 申请（专利权）人： | 住友大阪水泥股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/035 | 分类号： | G02F1/035 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 方应星;高培培 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基板 电场 波导型光 非导电层 光波导 控制电极 氧化物 配置 施加 电光效应 基板表面 介电常数 偏压电极 漂移现象 折射率差 钛氧化物 铟氧化物 对基板 氧化硅 有效地 | ||
1.一种波导型光元件，具备：
基板，具有电光效应；
两个光波导，配置在所述基板的表面；
非导电层，配置在所述基板上，由介电常数比该基板低的材料构成；及
控制电极，配置在所述非导电层上，用于对所述两个光波导分别施加电场而在该两个光波导之间产生折射率差，
所述非导电层由含有氧化硅、铟的氧化物和钛的氧化物且钛氧化物摩尔浓度相对于铟氧化物摩尔浓度之比为1.2以上的材料构成，
所述控制电极为用于对漂移现象进行补偿的偏压电极，且由配置在所述光波导上的动作电极和配置在所述基板表面中的设置有所述光波导的区域以外的部分的基准电极构成，
对所述控制电极施加相对于所述基准电极的电位的负电压且在所述基板产生1V/μm以上的电场的电压。
2.一种波导型光元件，具备：
基板，具有电光效应；
两个光波导，配置在所述基板的表面；
非导电层，配置在所述基板上，由介电常数比该基板低的材料构成；及
控制电极，配置在所述非导电层上，用于对所述两个光波导分别施加电场而在该两个光波导之间产生折射率差，
所述非导电层由含有氧化硅、铟的氧化物和钛的氧化物且在钛氧化物摩尔浓度不为5.0mol％的范围中钛氧化物摩尔浓度相对于铟氧化物摩尔浓度之比为1.2以上的材料构成，
所述控制电极为用于对漂移现象进行补偿的偏压电极，
对所述控制电极施加在所述基板产生1V/μm以上的电场的电压。
3.一种波导型光元件，具备：
基板，具有电光效应；
两个光波导，配置在所述基板的表面；
非导电层，配置在所述基板上，由介电常数比该基板低的材料构成；及
控制电极，配置在所述非导电层上，用于对所述两个光波导分别施加电场而在该两个光波导之间产生折射率差，
所述非导电层由含有氧化硅、铟的氧化物和钛的氧化物且钛氧化物摩尔浓度相对于铟氧化物摩尔浓度之比为1.2以上的材料构成，
所述控制电极为用于对漂移现象进行补偿的偏压电极，
对所述控制电极施加在所述基板产生1.2V/μm以上的电场的电压。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的波导型光元件，其中，
所述控制电极由配置在所述非导电层上的衬底层和配置在该衬底层上的上部层构成，
所述衬底层为钛。
5.根据权利要求1～3中任一项所述的波导型光元件，其中，
所述基板由铌酸锂形成，
所述两个光波导为构成马赫-曾德尔型光波导的两个并行波导。
6.根据权利要求4所述的波导型光元件，其中，
所述基板由铌酸锂形成，
所述两个光波导为构成马赫-曾德尔型光波导的两个并行波导。
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