[实用新型]微机械检测结构和MEMS传感器设备

权利要求书

1.一种微机械检测结构(20)，其特征在于，包括：

包括半导体材料的衬底(2)；

驱动质量体(4a-4c)，耦合至驱动电极集合(7a-7c)并且被设计为在所述驱动电极集合的电偏置之后在驱动移动中被驱动；

第一锚固单元(6a-6c)，耦合至所述驱动质量体并且被配置为在第一锚固部(5a-5c)处将所述驱动质量体弹性地耦合至所述衬底(2)；

被驱动质量体(10,30)，通过耦合单元(22a-22b；11a-11b,31a-31b)被弹性地耦合至所述驱动质量体(4a-4c)，并且被设计为在所述驱动移动所引起的运动中被驱动；以及

第二锚固单元(14,34)，耦合至所述被驱动质量体并且被配置为在第二锚固部(17,37)处将所述被驱动质量体弹性地耦合至所述衬底(2)，

所述驱动质量体(4a-4c)和所述被驱动质量体(10,30)、所述第一锚固单元(6a-6c)和所述第二锚固单元(14,34)、以及所述耦合单元(22a-22b；11a-11b,31a-31b)、以及所述驱动移动被联合配置用于抵消在所述第一锚固部(5a-5c)和所述第二锚固部(17,37)处作用于所述衬底(2)上的力和扭矩的合量。

2.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，其中在所述驱动移动之后，在所述第一锚固部(5a-5c)和所述第二锚固部(17,37)处作用于所述衬底(2)上的在第一方向或意义上的第一力和扭矩被设计为补偿在所述第一锚固部(5a-5c)和所述第二锚固部(17,37)处作用于所述衬底(2)上的、在与所述第一方向或意义相反的第二方向或意义上的第二力和扭矩。

3.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，具有在第一水平轴线(x)和第二水平轴线(y)所定义的水平平面(xy)中的平面延伸；其中所述驱动质量体包括第一驱动质量体(4a)和第二驱动质量体(4b)，所述第一驱动质量体(4a)和所述第二驱动质量体(4b) 被设计为沿着所述第二水平轴线(y)在相反方向上被驱动，并且所述被驱动质量体包括第一被驱动质量体(10)，所述第一被驱动质量体(10)沿着所述第一水平轴线(x)被布置在所述第一驱动质量体(4a)与所述第二驱动质量体(4b)之间，并且在所述水平平面(xy)中的旋转移动中由所述驱动移动所驱动；并且其中所述耦合单元(22a-22b)包括将所述第一被驱动质量体(10)弹性地耦合至所述第一驱动质量体(4a)的第一耦合元件(22a)、以及将所述第一被驱动质量体(10)弹性地耦合至所述第二驱动质量体(4b)的第二耦合元件(22b)，所述第一耦合元件(22a)和所述第二耦合元件(22b)被约束至所述衬底(2)并且被配置为在所述衬底(2)上施加扭矩，所述扭矩与所述第二锚固单元(14)在所述被驱动质量体(10)的旋转之后在所述衬底(2)上所施加的相应扭矩相等且相反。

4.根据权利要求3所述的结构，其特征在于，其中所述第一耦合元件(22a)和所述第二耦合元件(22b)每个都被配置以便定义刚性连接元件(24)，所述刚性连接元件(24)具有利用铰接耦合连接至所述被驱动质量体(10)的第一末端、以及利用铰接耦合连接至相应的第一驱动质量体(4a)或第二驱动质量体(4b)的第二末端。

5.根据权利要求4所述的结构，其特征在于，其中所述刚性连接元件(24)在其处于所述被驱动质量体(10)与相应的所述第一驱动质量体(4a)或所述第二驱动质量体(4b)之间的中间部分处具有到所述衬底(2)的约束点，所述中间部分在所述约束点处被铰接至所述衬底(2)。

6.根据权利要求5所述的结构，其特征在于，其中所述第一耦合元件(22a)和所述第二耦合元件(22b)每个都被配置以便作为摇臂或者作为在所述约束点处具有中心支点的杠杆进行操作。