[实用新型]一种湿法腐蚀用负压枪有效

专利信息
申请号: 201620791216.9 申请日: 2016-07-26
公开(公告)号: CN206163461U 公开(公告)日: 2017-05-10
发明(设计)人: 杨永平;时宝 申请(专利权)人: 润峰电力有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 272000 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 一种 湿法 腐蚀 用负压枪
【说明书】:

技术领域

本实用新型属于晶硅太阳能电池生产领域,具体涉及晶硅太阳能电池湿法刻蚀用一种湿法腐蚀用负压枪。

背景技术

在晶硅太阳能电池的生产过程中,链式湿法腐蚀以其工艺简单、易于控制,可连续生产及生产成本低等优势,成为晶硅太阳能电池制绒和刻蚀的主要工艺方法。但在实际生产过程中,湿法腐蚀设备由于机台内的化学品具有强酸、强碱和很强的腐蚀性,机内碎片、叠片等不能便捷的及时移除,导致机台内滚轮药液污染、碎片卡片及连锁叠片等,并最终导致产线制程返工率高,产品良率低等质量问题。随着自动上下料设备逐渐引入光伏电池生产线,在提高产线稳定性及降低人力成本等方面效果显著。但另一方面提高了机内碎片、叠片的发生几率,制程返工率不降反升,已成为企业急需改善的突出问题之一。

发明内容

为解决上述缺陷,本实用新型提供一种湿法腐蚀用负压枪。所述负压枪在保障操作人员安全的前提下,可便捷的将机台上下料轨道上的碎片、叠片等不良片及时移出,从而降低后续污染和后续不良连锁反应的发生几率,最大限度的降低制程不良率,提高了产品品质,降低了生产成本。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种湿法腐蚀用负压枪,包括吸头、支撑管和操控把手,所述吸头与所述操控把手均为中空式设计,所述吸头的其中一端为针孔式吸盘,另一端为旋紧接头,所述旋紧接头与操控把手的一端通过支撑管相连接,所述把手设置有释压孔,所述把手的另一端通过软管连接至真空源,所述吸头、支撑管和操控把手采用PVDF材质或PP材质。

进一步,所述针孔式吸盘设置有1~10个圆形针孔,每个针孔的直径为1~5mm。

进一步,所述支撑管为类L型支撑管,类L型支撑管的夹角为90~150°。

进一步,所述支撑管的外径为10~20mm,内径为2~5mm,长度为30~150mm。

与现有技术相比,本实用新型具有以下有益效果:本实用新型提出的湿法腐蚀用负压枪,通过连接外部真空管路,可使负压枪内部呈现负压状态,并通过吸头将硅片吸出,把手上的释压孔可将取片器内部与外界大气连通,并作为操控开关使硅片通过吸头将碎片吸起和取下,本实用新型,可用于晶硅太阳能电池湿法制绒和刻蚀工序,可便捷的将制程中机台上下料处的碎片、叠片等不良片及时取出,采用本实用新型提供的负压枪,可便捷的去除制程中机台上下料处的各种不良片,最大限度的降低制程不良率,降低后续污染和其他后续不良连锁反应的发生几率,从而提高产品品质,降低生产成本,且本实用新型为独立设备,设备体积小、重量轻,操作简单,便于拆卸清洗和存放,具有较宽的潜在适用空间。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步说明,显而易见下述附图及具体实施方式仅仅是本技术方案的两种表现形式,还可依据本技术方案获得其他具体实施方案。

图1本实用新型结构示意图。

图2本实用新型吸头结构示意图。

具体实施方式

如图1-2所示,一种湿法腐蚀用负压枪,包括1吸头、2支撑管、3操控把手,所述1吸头和3操控把手为中空式设计,1吸头的其中一端为6针孔式吸盘,针孔直径为3mm,另一端为7旋紧接头,所述3操控把手设置有4释压孔,将真空源(负压球)通过5连通管与3操控把手的一端相连接,3操控把手的另一端与1吸头的7旋紧接头通过2支撑管相连,所述2支撑管与3操控把手的内径为3mm,长度为0.3~1m,所述2支撑管为类L型支撑管,类L型支撑管的夹角为90~150°,所述吸头、支撑管和操控把手均为耐酸碱的PP材质。

以上描述了本实用新型的基本结构和优点。对实用新型的具体实施方案进行了描述,但并未对本实用新型保护范围的限制,本行业的技术人员应该了解,上述实施例与说明中描述的只是本实用新型基本的操作步骤,不脱离实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求及其等效物界定。

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