[发明专利]阵列基板、显示面板、阵列基板制作方法有效
申请号: | 201611188128.0 | 申请日: | 2016-12-20 |
公开(公告)号: | CN106707639B | 公开(公告)日: | 2021-01-22 |
发明(设计)人: | 齐璞玉 | 申请(专利权)人: | 厦门天马微电子有限公司;天马微电子股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/1362 | 分类号: | G02F1/1362;G02F1/1333;H01L27/32 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王宝筠 |
地址: | 361100 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 阵列 显示 面板 制作方法 | ||
本发明实施例公开了一种阵列基板、显示面板、阵列基板的制作方法,该阵列基板包括:第一基板、多条扫描线、具有多个刻缝的第一绝缘层和多条数据线,多条数据线与多条扫描线交叉设置限定出多个子像素区域,子像素区域包括开口区和包围所述开口区的遮光区;第一绝缘层在第一基板上的投影至少覆盖扫描线和数据线的交叠区域在第一基板上的投影,且刻缝在第一基板上的投影覆盖开口区在第一基板上的投影,从而通过去除各子像素区域中所述开口区的第一绝缘层,来避免由于第一绝缘层中的氮化硅层的刻蚀过程难以控制而导致各子像素区域中开口区的第一绝缘层厚度不均现象,缓解各子像素区域的色偏现象,提高显示质量,同时提高了显示亮度。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种阵列基板、包括该阵列基板的显示面板以及一种阵列基板的制作方法。
背景技术
随着显示技术的发展,显示面板的应用越来越广泛,已逐渐成为人们生活和工作必不可少的重要工具。
目前显示面板通常包括:交叉且绝缘设置的多条数据线和多条扫描线,多条数据线和多条扫描线限定出多个子像素区域;位于所述数据线和所述扫描线之间的层间绝缘层;与各子像素区域一一对应的薄膜晶体管,其中,薄膜晶体管的栅极与扫描线电连接,源极与数据线电连接,从而使得该薄膜晶体管可以在扫描线的控制下,将数据线中的信号传输给各子像素,控制各子像素区域的显示。
需要说明的是,为了保证数据线和扫描线之间的良好电绝缘性,现有显示面板中,该层间绝缘层通常包括氮化硅层,具体制作时,主要是通过先形成一较厚的氮化硅层,再通过刻蚀将该氮化硅层刻蚀至预设厚度,但是,由于氮化硅层的刻蚀速率较快,使得其刻蚀过程难以精确控制,从而导致各子像素处的层间绝缘层厚度不均,造成在同一背光下,各子像素的显示颜色不完全相同,使得所述显示面板存在色偏现象,显示质量有待提高。
发明内容
为解决上述技术问题,本发明实施例提供了一种阵列基板及包括该阵列基板的显示面板,以改善该显示面板的色偏现象,提高显示质量。
为解决上述问题,本发明实施例提供了如下技术方案:
一种阵列基板,其特征在于,包括:
第一基板;
位于所述第一基板第一侧的多条扫描线;
覆盖所述扫描线的第一绝缘层,所述第一绝缘层至少包括一层氮化硅层,且所述第一绝缘层中具有多个贯穿所述第一绝缘层的刻缝;
位于所述第一绝缘层背离所述扫描线一侧的多条数据线,所述多条数据线与所述多条扫描线交叉设置限定出多个子像素区域,所述子像素区域包括开口区和包围所述开口区的遮光区;
其中,所述第一绝缘层在所述第一基板上的投影至少覆盖所述扫描线和所述数据线的交叠区域在所述第一基板上的投影,且所述刻缝在所述第一基板上的投影覆盖所述开口区在所述第一基板上的投影。
可选的,所述多个贯穿所述第一绝缘层的刻缝的延伸方向相互平行。
可选的,所述第一绝缘层在所述第一基板上的投影完全覆盖所述扫描线在所述第一基板上的投影;所述刻缝的延伸方向平行于所述扫描线的延伸方向。
可选的,所述第一绝缘层在所述第一基板上的投影完全覆盖所述数据线在所述第一基板上的投影;所述刻缝的延伸方向平行于所述数据线的延伸方向。
可选的,所述第一绝缘层还包括至少一层氧化硅层。
可选的,所述第一绝缘层为一层所述氮化硅层和一层所述氧化硅层的堆叠结构。
可选的,所述第一绝缘层为包括两层所述氧化硅层和位于所述两层所述氧化硅层之间的一层所述氮化硅层的堆叠结构。
可选的,所述第一绝缘层为包括两层所述氮化硅层和位于所述两层所述氮化硅层之间的一层所述氧化硅层的堆叠结构。
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