[发明专利]一种用于晶圆焊球剪切装置测试的装置及测试方法

说明书

本发明提供一种用于晶圆焊球剪切装置测试的装置及测试方法，所述装置包括：装置主体；设置在所述装置主体上的直角杠杆，其包括位于水平方向的第一杠杆和位于竖直方向的第二杠杆，所述第一杠杆的第一端和所述第二杠杆的第一端固定相连，所述第二杠杆的第二端位于所述第一端的上部；设置在所述第一杠杆的第二端的砝码挂轮，以悬挂砝码；和设置在所述第二杠杆的第二端的针头接触部，以接触所述晶圆焊球剪切装置的针头。根据本发明的装置，可以使破坏性测试实现重复性及再现性测试，确保量测机台的性能及稳定性，提高产品质量。

技术领域

本发明涉及测试装置及测试方法，具体而言涉及一种用于晶圆焊球剪切装置测试的装置及测试方法。

背景技术

为了确保量测机台的稳定性及量测能力，以满足生产线的要求，需要在机台上定期执行重复性(Repeatability)及再现性(Reproducibility)的测试。重复性是指在测量条件保持不变的情况下，连续多次测量结果之间的一致性；而再现性则是指在测量条件改变了的情况下，测量结果之间的一致性。重复性及再现性测试是指不同的人可以对样本进行重复地量测，现已普遍应用于非破坏性测试中。

晶圆焊球剪切装置是一种用于剪切晶圆焊球的带有量测功能的机台，主要由承载晶圆的平台、剪切焊球的针体及装置主体构成。目前主要的在线测试项目包括焊球推力测试，其测试原理是：当机台对焊球进行剪切时，针头会移动到需要剪切的焊球处，然后机台会缓慢地施加剪切力，直到可以将该焊球进行剪切，这时机台会记录刚好可以剪切该焊球时的推力，这个推力即为焊球推力。由于剪切焊球的动作是一种不可重复性的动作，所以焊球推力的测试不可重复性测量，属于破坏性测试，也就无法像非破坏性测试一样实现重复性和再现性测试。

因此，有必要提供一种用于晶圆焊球剪切装置测试的装置，以实现重复性及再现性测试。

发明内容

在发明内容部分中引入了一系列简化形式的概念，这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本发明的发明内容部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征，更不意味着试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。

针对现有技术的不足，本发明提供一种用于晶圆焊球剪切装置测试的装置，包括：装置主体；设置在所述装置主体上的直角杠杆，其包括位于水平方向的第一杠杆和位于竖直方向的第二杠杆，所述第一杠杆的第一端和所述第二杠杆的第一端固定相连，所述第二杠杆的第二端位于所述第一端的上部；设置在所述第一杠杆的第二端的砝码挂轮，以悬挂砝码；和设置在所述第二杠杆的第二端的针头接触部，以接触所述晶圆焊球剪切装置的针头。

进一步，所述装置还包括设置在所述装置主体底部的固定块，以固定所述装置主体。

进一步，所述针头接触部包括针头下滑截止面、前推截止面和金属圆柱体。

进一步，所述砝码挂轮包括定滑轮。

进一步，所述定滑轮与所述砝码的接触处为V形槽。

进一步，所述砝码包括标准砝码。

进一步，所述第一杠杆的第一端和所述第二杠杆的第一端通过转动轴固定相连。

进一步，所述装置主体上设置有第一杠杆支撑部，以保证所述第一杠杆处于水平方向。

进一步，所述针头接触部与针头接触的部位位于所述第一杠杆的一侧。

本发明还提供一种用于晶圆焊球剪切装置测试的测试方法，包括以下步骤：在砝码挂轮上悬挂标准砝码；将晶圆焊球剪切装置的针头调整至针头接触部；开启机台测试功能，机台不断施加作用力，一旦第二杠杆被推动，此时晶圆焊球剪切装置记录第二杠杆刚好被推动时机台所施加的作用力的大小。

进一步，所述针头接触部包括针头下滑截止面、前推截止面和金属圆柱体。