[发明专利]芯片贴装设备及贴装芯片的方法有效
申请号: | 201611141417.5 | 申请日: | 2016-12-12 |
公开(公告)号: | CN106783679B | 公开(公告)日: | 2023-09-26 |
发明(设计)人: | 谭小春 | 申请(专利权)人: | 合肥矽迈微电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/56 |
代理公司: | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人: | 翟羽;高翠花 |
地址: | 230001 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 装设 方法 | ||
1.一种芯片贴装设备,其特征在于,
包括芯片取放装置、第一点胶装置及第二点胶装置,所述芯片取放装置用于吸取芯片并将所述芯片放置在基板上,所述第一点胶装置及第二点胶装置用于向基板的贴片位置注入粘结剂,所述第一点胶装置及第二点胶装置分设在所述芯片取放装置的两侧;
所述第一点胶装置和所述第二点胶装置对称设置在所述芯片取放装置的两侧,所述第一点胶装置的点胶位置至所述芯片取放装置的贴片位置之间的距离与所述第二点胶装置的点胶位置至所述芯片取放装置的贴片位置之间的距离相等,当所述第一点胶装置或所述第二点胶装置执行点胶作业时,所述芯片取放装置恰好位于带贴片位置的上方,与此同时,所述芯片取放装置执行贴片操作;
所述芯片取放装置具有多个吸嘴,依次吸取及放置芯片;
所述芯片取放装置具有一转轴,所述吸嘴沿所述转轴圆周设置;以及
所述芯片取放装置具有多个吸嘴,在所述芯片取放装置的一个吸嘴放置芯片时,另一个吸嘴吸取芯片。
2.一种采用权利要求1所述的芯片贴装设备贴装芯片的方法,待贴片的基板上平行设置有多组贴片组,每一贴片组包括一第一贴片行、一第二贴片行及一第三贴片行,其特征在于,
所述方法包括如下步骤:
(a)所述第一点胶装置向基板的第一贴片行点胶,在所述基板上形成第一点胶行;
(b)所述芯片取放装置从所述第一点胶行首端起始贴片,所述第一点胶装置从基板的第二贴片行的中部起始点胶,当所述芯片取放装置完成第一点胶行前部的贴片时,所述第一点胶装置在所述第二贴片行后部形成第二点胶行后部;
(c)所述芯片取放装置继续沿所述第一点胶行贴片,所述第二点胶装置从所述第二贴片行首端起始点胶,当所述芯片取放装置完成第一点胶行后部的贴片时,所述第二点胶装置在所述第二贴片行前部形成第二点胶行前部,至此,形成完整的第二点胶行;
(d)所述芯片取放装置从所述第二点胶行尾端起始贴片,所述第二点胶装置从基板的第三贴片行的中部起始点胶,当所述芯片取放装置完成第二点胶行后部的贴片时,所述第二点胶装置在所述第三贴片行前部形成第三点胶行前部;
(e)所述芯片取放装置继续沿所述第二点胶行贴片,所述第一点胶装置从所述第三贴片行尾端起始点胶,当所述芯片取放装置完成第二点胶行前部的贴片时,所述第一点胶装置在所述第三贴片行后部形成第三点胶行后部,至此,形成完整的第三点胶行;
(f)重复步骤(b)~(e);
其中,所述第一点胶装置及第二点胶装置对称设置在所述芯片取放装置两侧;所述第一点胶装置的点胶位置至所述芯片取放装置贴片位置的距离与所述第二点胶装置的点胶位置至所述芯片取放装置贴片位置的距离相等。
3.根据权利要求2所述的芯片贴装设备贴装芯片的方法,其特征在于,
在步骤(a)~(f)中,移动基板,以使所述芯片贴装设备对应需要工作的位置。
4.根据权利要求2所述的芯片贴装设备贴装芯片的方法,其特征在于,
所述第二贴片行中部是第二贴片行二分之一处,所述第三贴片行中部是第三贴片行二分之一处。
5.根据权利要求2所述的芯片贴装设备贴装芯片的方法,其特征在于,
所述芯片取放装置具有多个吸嘴,在所述芯片取放装置的一个吸嘴放置芯片时,另一个吸嘴吸取芯片。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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