[发明专利]工件加工装置以及用于该工件加工装置的药液收纳袋

权利要求书

1.一种工件加工装置，其具有将药液供给至处理部的药液供给部和进行工件的加工或处理的所述处理部，其特征在于，

所述药液供给部具有：

多个药液收纳袋，其填充有药液；

袋保持部，其安装并保持有该多个药液收纳袋；以及

送液部，其装卸自如地连接有所述多个药液收纳袋，将药液从该药液收纳袋送入至所述处理部，

所述药液收纳袋呈将柔性树脂片重合并将周缘部熔接而成的袋状，并且具有与外部连通的端口部，在该端口部安装有带阀的接头。

2.根据权利要求1所述的工件加工装置，其特征在于，

在所述药液收纳袋中在完成了排气的状态下填充有药液。

3.根据权利要求1或2所述的工件加工装置，其特征在于，

所述袋保持部被配置于所述处理部的下方，并且被设置成能够向装置前方拉出。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的工件加工装置，其特征在于，

所述药液收纳袋以所述带阀的接头侧在上的方式呈悬挂状态被保持于所述袋保持部，具有在袋内朝向下方延伸的药液抽吸管。

5.根据权利要求4所述的工件加工装置，其特征在于，

所述药液收纳袋呈扁平状态在相邻的药液收纳袋彼此交替地在宽度方向上错开的状态下悬挂。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的工件加工装置，其特征在于，

该工件加工装置具有测量部，该测量部测量被保持于所述袋保持部的状态的所述药液收纳袋的重量。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的工件加工装置，其特征在于，

所述带阀的接头是鲁尔锁紧方式的接头。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的工件加工装置，其特征在于，

所述药液收纳袋包括填充有研磨液作为药液的袋。

9.根据权利要求1～7中任一项所述的工件加工装置，其特征在于，

所述药液收纳袋包括各自分别填充有研磨液和纯水作为药液的袋。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的工件加工装置，其特征在于，

所述药液收纳袋包括填充有冲洗工件的冲洗液作为药液的袋。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的工件加工装置，其特征在于，

所述药液收纳袋包括填充有清洗工件的清洗液作为药液的袋。

12.根据权利要求1～11中任一项所述的工件加工装置，其特征在于，

所述工件是尺寸为1/2英寸的半导体晶片。

13.根据权利要求1～12中任一项所述的工件加工装置，其特征在于，

所述工件加工装置具备向所述药液收纳袋中填充药液的填充装置，该填充装置具有：空气排出部，其排出所述药液收纳袋内的空气；以及测量部，其测量填充于所述药液收纳袋的药液的重量或者容量。

14.根据权利要求13所述的工件加工装置，其特征在于，

所述填充装置具有：

原液收纳部，其收纳原液的药液；

纯水收纳部，其收纳纯水；

载置部，其载置有所述药液收纳袋；

排出罐；

第1管路，其从所述原液收纳部依次经由第1止回阀、第1三通阀、第2三通阀而通向所述药液收纳袋，能够将药液从所述原液收纳部送出至所述药液收纳袋；

第2管路，其从所述纯水收纳部依次经由第2止回阀、所述第1三通阀、所述第2三通阀而通向所述药液收纳袋，能够将纯水从所述纯水收纳部送出至所述药液收纳袋；

第3管路，其从所述药液收纳袋依次经由所述第2三通阀、第3止回阀而通向所述排出罐，能够将空气从所述药液收纳袋排出至所述排出罐；

第1送出泵，其插入于所述第1止回阀与所述原液收纳部之间的所述第1管路上，经由该第1管路而将药液从所述原液收纳部送出至所述药液收纳袋；

第2送出泵，其插入于所述第2止回阀与所述纯水收纳部之间的所述第2管路上，经由该第2管路而将纯水从所述纯水收纳部送出至所述药液收纳袋；以及

第3送出泵，其插入于所述第3止回阀与所述排出罐之间的所述第3管路上，经由该第3管路而将空气从所述药液收纳袋排出至所述排出罐。