[发明专利]一种铟镓锌氧薄膜晶体管及其制备方法在审
| 申请号： | 201611112415.3 | 申请日： | 2016-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN106486551A | 公开（公告）日： | 2017-03-08 |
| 发明（设计）人： | 邓宏;王艳;韦敏;程慧;汪逸俊 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/02;C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心51203 | 代理人： | 李明光 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 铟镓锌氧 薄膜晶体管 及其 制备 方法 | ||
【说明书】：
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