[发明专利]具有提升销组件的基板处理装置

权利要求书

1.一种具有提升销组件的基板处理装置，其特征在于，包括：

腔室主体，形成收容基板而进行处理的内部空间；

加热器单元，配置于所述腔室主体的内部空间上，上面安装有所述基板并且形成有第1提升销槽部；

提升销组件，具备提升销单元，提升销单元沿上下方向贯通所述加热器单元的同时将所述基板上下移动，当所述加热器单元热变形时，根据所述第1提升销槽部的位置移动，上部区域沿水平方向移动；及

支承托架，配置在所述腔室主体的下部框架底面，支撑所述加热器单元，并且在所述支承托架上形成贯通所述提升销单元的销槽部；

其中，所述提升销单元，包括：

上部提升销，插入到所述第1提升销槽部；

中间提升销，相对于所述上部提升销可进行相对移动；

第1连接部件，连接所述上部提升销和所述中间提升销；

下部提升销，相对于所述中间提升销可进行相对移动；以及

第2连接部件，连接所述中间提升销和所述下部提升销；

其中，所述第1连接部件，包括：

第1结合块，与所述上部提升销的下端部结合；

第1接合销，一侧与所述第1结合块的下端可旋转结合，另一侧与所述中间提升销的上端结合；及

角度调节单元，配置在所述第1结合块和所述第1接合销之间；

在所述第1结合块的下端有以圆形凹陷形成的结合槽，在所述第1接合销的末端具备球状的结合球。

2.根据权利要求1所述的具有提升销组件的基板处理装置，其特征在于，

所述第2连接部件，包括：

第2接合销，一侧与所述中间提升销的下端结合，另一侧与所述下部提升销的上端可旋转地结合。

3.根据权利要求1或2所述的具有提升销组件的基板处理装置，其特征在于，

在所述腔室主体的下部框架上，形成有所述提升销单元贯通的第2提升销槽部，所述第2提升销槽部的直径比所述第1提升销槽部的直径大，并且所述第1连接部件沿水平方向的移动是在所述第2提升销槽部上进行的移动。

4.根据权利要求1或2所述的具有提升销组件的基板处理装置，其特征在于，

所述提升销单元，还包括：

主提升销，与所述下部提升销结合，

所述提升销组件，还包括：

提升销保持件，用于允许所述主提升销沿上下方向进行移动并维持垂直状态，及

伸缩部件，至少包裹所述主提升销的一部分。

5.根据权利要求1或2所述的具有提升销组件的基板处理装置，其特征在于，

所述上部提升销的直径比所述中间提升销的直径小，所述中间提升销的直径比所述下部提升销的直径小。