[发明专利]化学机械抛光机及用于其的抛光组件

说明书

技术领域

本发明涉及平坦化加工技术领域，更具体地，涉及一种化学机械抛光机及用于其的抛光组件。

背景技术

相关技术中的化学机械抛光机，通常设有一个抛光头，通过抛光头的平移在抛光工位和装载工位之间切换。抛光头在执行装卸晶圆时，抛光盘只能闲置，加上晶圆的装卸与传送耗时较长，化学抛光机的整体工作效率较低。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本发明提出了一种用于化学机械抛光机的抛光组件，所述抛光组件中一个抛光头组件进行抛光时，另一个抛光头组件可以执行装卸晶圆，两个抛光头组件可以交替抛光，从而可以持续不间断工作，进而可以提高工作效率。

本发明还提出了一种具有上述抛光组件的化学机械抛光机。

根据本发明实施例的用于化学机械抛光机的抛光组件，包括：下支架、上支架、驱动转塔和两个抛光头组件，所述下支架上设有工作台和抛光盘；所述上支架架设在所述下支架上；所述驱动转塔悬挂在所述上支架上且所述驱动转塔的至少一部分相对于所述下支架可枢转；用于装卸晶圆和夹持晶圆进行抛光的两个抛光头组件，两个所述抛光组件分别设在所述驱动转塔上，以在所述驱动转塔的枢转下在与所述工作台位置对应的装卸位置和与所述抛光盘位置对应的抛光位置之间可移动，其中，当两个抛光头组件中的其中一个位于装卸位置时，两个所述抛光头组件中的其中另一个位于所述抛光位置。

根据本发明实施例的用于化学机械抛光机的抛光组件，一个抛光头组件进行抛光时，另一个抛光头组件可以执行装卸晶圆，两个抛光头组件可以交替抛光，从而可以持续不间断工作，进而可以提高工作效率。

另外，根据本发明上述实施例的用于化学机械抛光机的抛光组件还可以具有如下附加的技术特征：

根据本发明的一些实施例，所述驱动转塔包括：转塔轴，所述转塔轴的上端与所述上支架可枢转地相连，所述转塔轴沿竖直方向由上向下延伸；转塔平台，所述转塔平台与所述转塔轴的下端相连，两个所述抛光头组件设在所述转塔平台上且位于所述转塔轴的两侧；转塔驱动器，所述转塔驱动器安装在所述上支架上且与所述转塔轴相连以驱动所述转塔轴带动所述转塔平台枢转。

根据本发明的一些实施例，所述转塔组件还包括：转塔变速器，所述转塔驱动器通过所述转塔变速器驱动所述转塔轴枢转。

可选地，所述上支架包括：顶板，所述顶板沿水平方向延伸且与所述下支架间隔开设置，所述转塔轴的上端可枢转地设在所述顶板上；两个支撑腿，两个支撑腿的上端分别与所述顶板的两端相连，两个所述支撑腿的下端分别与所述下支架相连。

可选地，所述工作台和所述抛光盘的分布方向与所述顶板的延伸方向垂直。

根据本发明的一些实施例，所述转塔平台上设有通孔，每个所述抛光头组件包括：抛光驱动器，所述抛光头驱动器安装在所述转塔平台上；抛光头，所述抛光头位于所述转塔平台的下方，所述抛光驱动器的输出轴穿过所述通孔与所述抛光头相连，以驱动所述抛光头转动。

可选地，每个所述抛光头组件还包括：抛光平移单元，所述抛光平移单元设在所述转塔平台上且与所述抛光驱动器相连以驱动所述抛光驱动器移动。

根据本发明的一些实施例，所述抛光组件还包括：抛光液输送器，所述抛光液输送器设在所述下支架上且其一端延伸向所述抛光盘以向所述抛光盘上输送抛光液。

根据本发明的一些实施例，所述抛光组件还包括：抛光垫，所述抛光垫设在所述抛光盘上；修整器，所述修整器可枢转地设在所述下支架上以修整所述抛光垫的位置。

根据本发明实施例的化学机械抛光机，包括根据本发明上述实施例的抛光组件。

根据本发明实施例的化学机械抛光机，通过设置根据本发明上述实施例的抛光组件，在一个抛光头组件进行抛光时，另一个抛光头组件可以执行装卸晶圆，两个抛光头组件可以交替抛光，从而可以持续不间断工作，提高工作效率。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

图1是根据本发明实施例的用于化学机械抛光机的抛光组件的立体图；

图2是根据本发明实施例的用于化学机械抛光机的抛光组件的正视图；

图3是根据本发明实施例的用于化学机械抛光机的抛光组件在一种状态下的俯视示意图；

图4是根据本发明实施例的用于化学机械抛光机的抛光组件在另一种状态下的俯视示意图。

附图标记：

100：抛光组件；200：晶圆；