[发明专利]化学机械抛光机及用于其的抛光组件

权利要求书

1.一种用于化学机械抛光机的抛光组件，其特征在于，包括：

下支架，所述下支架上设有工作台和抛光盘；

上支架，所述上支架架设在所述下支架上；

驱动转塔，所述驱动转塔悬挂在所述上支架上且所述驱动转塔的至少一部分相对于所述下支架可枢转；

用于装卸晶圆和夹持晶圆进行抛光的两个抛光头组件，两个所述抛光组件分别设在所述驱动转塔上，以在所述驱动转塔的枢转下在与所述工作台位置对应的装卸位置和与所述抛光盘位置对应的抛光位置之间可移动，其中，当两个抛光头组件中的其中一个位于装卸位置时，两个所述抛光头组件中的其中另一个位于所述抛光位置。

2.根据权利要求1所述的用于化学机械抛光机的抛光组件，其特征在于，所述驱动转塔包括：

转塔轴，所述转塔轴的上端与所述上支架可枢转地相连，所述转塔轴沿竖直方向由上向下延伸；

转塔平台，所述转塔平台与所述转塔轴的下端相连，两个所述抛光头组件设在所述转塔平台上且位于所述转塔轴的两侧；

转塔驱动器，所述转塔驱动器安装在所述上支架上且与所述转塔轴相连以驱动所述转塔轴带动所述转塔平台枢转。

3.根据权利要求2所述的用于化学机械抛光机的抛光组件，其特征在于，所述转塔组件还包括：

转塔变速器，所述转塔驱动器通过所述转塔变速器驱动所述转塔轴枢转。

4.根据权利要求2所述的用于化学机械抛光机的抛光组件，其特征在于，所述上支架包括：

顶板，所述顶板沿水平方向延伸且与所述下支架间隔开设置，所述转塔轴的上端可枢转地设在所述顶板上；

两个支撑腿，两个支撑腿的上端分别与所述顶板的两端相连，两个所述支撑腿的下端分别与所述下支架相连。

5.根据权利要求4所述的用于化学机械抛光机的抛光组件，其特征在于，所述工作台和所述抛光盘的分布方向与所述顶板的延伸方向垂直。

6.根据权利要求2所述的用于化学机械抛光机的抛光组件，其特征在于，所述转塔平台上设有通孔，每个所述抛光头组件包括：

抛光驱动器，所述抛光头驱动器安装在所述转塔平台上；

抛光头，所述抛光头位于所述转塔平台的下方，所述抛光驱动器的输出轴穿过所述通孔与所述抛光头相连，以驱动所述抛光头转动。

7.据权利要求6所述的用于化学机械抛光机的抛光组件，其特征在于，每个所述抛光头组件还包括：

抛光平移单元，所述抛光平移单元设在所述转塔平台上且与所述抛光驱动器相连以驱动所述抛光驱动器移动。

8.根据利要求1所述的用于化学机械抛光机的抛光组件，其特征在于，还包括：

抛光液输送器，所述抛光液输送器设在所述下支架上且其一端延伸向所述抛光盘以向所述抛光盘上输送抛光液。

9.根据利要求1所述的用于化学机械抛光机的抛光组件，其特征在于，还包括：

抛光垫，所述抛光垫设在所述抛光盘上；

修整器，所述修整器可枢转地设在所述下支架上以修整所述抛光垫的位置。

10.一种化学机械抛光机，其特征在于，包括根据权利要求1-9中任一项所述的抛光组件。