[发明专利]薄膜晶体管及其制造方法、显示面板及显示装置

说明书

本发明提供一种薄膜晶体管及其制造方法、显示面板及显示装置，所述薄膜晶体管包括依次位于衬底之上的有机层、阻挡层、缓冲层、沟道区、栅极绝缘层、栅极、层间绝缘层以及源极、漏极，还包括形成于所述阻挡层与所述缓冲层之间或者位于所述阻挡层内的保护层，所述保护层在朝向所述沟道区方向上的投影覆盖所述沟道区，所述保护层用于分散薄膜晶体管部分材料在弯曲过程中受到的应力，避免薄膜晶体管器件在弯曲过程中可能会造成的沟道或接触孔的断裂，提高薄膜晶体管的可靠性。

技术领域

本发明涉及柔性显示技术领域，具体涉及一种薄膜晶体管及其制造方法、显示面板及显示装置。

背景技术

有机发光器件，即有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，简称OLED)，又称为有机电致发光显示具有全固态特性，机械性能好，抗震动性强，使用塑料、聚酯薄膜或胶片作为基板，OLED屏可以做到更薄，甚至可以折叠或卷起来，实现柔性软屏显示。

随着显示技术的发展，研发人员对可折叠或卷起的柔性显示装置不断作出改进，与传统的刚性显示装置(即制作在玻璃等不可弯曲的基材上的显示装置)相比，柔性显示装置具有诸多优势，如重量轻、体积小、携带更为方便，更高的耐冲击性以及更强的抗震性能等。

但是，柔性显示装置在弯曲的情况下，多层结构由于各层材料杨氏模量不同，会在界面处产生大量缺陷，从而影响器件性能，而薄膜晶体管作为柔性显示装置中重要的功能器件，其性能对于柔性产品的整体性能有重大的影响。现有技术一般通过优化器件结构，减少高硬度膜层的厚度，使相邻结构膜层硬度尽可能接近，从而减少功能层受到的损伤。但是，由于薄膜晶体管中各层材料的厚度的改变可能对薄膜晶体管的性能产生影响，导致采用优化器件结构的方法得到的最终产品达不到预计的效果。

因此，亟需提供一种避免薄膜晶体管器件在弯曲过程中可能会造成损伤的方法。

发明内容

本发明的目的在于提供一种薄膜晶体管及其制造方法、显示面板及显示装置，在柔性弯曲时降低沟道和接触孔的断裂概率，避免薄膜晶体管器件在弯曲过程中可能会造成的损伤。

为实现上述目的，本发明提供一种薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括依次位于衬底上的有机层、阻挡层、缓冲层、沟道区、栅极绝缘层、栅极、层间绝缘层以及源极、漏极，还包括：位于所述阻挡层与所述缓冲层之间或者位于所述阻挡层内的的保护层，所述保护层在朝向所述沟道区方向上的投影覆盖所述沟道区。

可选的，在所述的薄膜晶体管中，还包括：位于所述阻挡层内的至少一个凹槽，所述保护层位于所述凹槽内。

可选的，在所述的薄膜晶体管中，所述凹槽位于所述沟道区的正下方。

可选的，在所述的薄膜晶体管中，所述保护层的杨氏模量大于50Gpa。

可选的，在所述的薄膜晶体管中，所述保护层的材质为金属。

可选的，在所述的薄膜晶体管中，还包括：

位于所述衬底与所述有机层之间的分裂层；

以及位于所述源极、漏极与层间绝缘层之上的平坦化层与阳极。

相应的，本发明还提供一种薄膜晶体管的制造方法，制造上述薄膜晶体管，其方法包括：在衬底上依次形成有机层、阻挡层、缓冲层、沟道区、栅极绝缘层、栅极、层间绝缘层以及源极、漏极，形成所述阻挡层之后，形成所述缓冲层之前，还包括：在所述阻挡层上或在所述阻挡层内形成保护层，所述保护层在朝向所述沟道区方向上的投影覆盖所述沟道区。

可选的，在所述的薄膜晶体管的制造方法中，形成所述阻挡层之后，形成所述保护层之前，还包括：在所述沟道区正下方的所述阻挡层内形成至少一个凹槽，所述保护层形成于所述凹槽内。

相应的，本发明还提供一种显示面板，所述显示面板包括如上所述的薄膜晶体管。