[发明专利]一种太阳能电池硅片的清洗方法、太阳能电池的制备方法

权利要求书

1.一种太阳能电池硅片的清洗方法，其特征在于，包括：

对太阳能电池硅片进行预清洗使得所述太阳能电池硅片表面产生氧化；

采用氢氟酸、双氧水和盐酸的混合溶液对经过所述预清洗后的太阳能电池硅片进行刻蚀清洗；其中，在所述氢氟酸、双氧水和盐酸的混合溶液中，所述氢氟酸的质量百分比和双氧水的质量百分比相同；所述氢氟酸的质量百分比为0.1wt％至2wt％，所述双氧水的质量百分比为0.1wt％至2wt％，所述盐酸的质量百分比为0.5wt％至5wt％。

2.如权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，采用氢氟酸、双氧水和盐酸的混合溶液对经过所述预清洗后的太阳能电池硅片进行刻蚀清洗，具体包括：

将经过所述预清洗后的太阳能电池硅片放入氢氟酸、双氧水和盐酸的混合溶液中浸泡预设时间进行刻蚀清洗后取出，并用去离子水对所述太阳能电池硅片进行冲洗。

3.如权利要求2所述的清洗方法，其特征在于，在所述氢氟酸、双氧水和盐酸的混合溶液中，所述氢氟酸的质量百分比为1wt％至1.5wt％，所述双氧水的质量百分比为1wt％至1.5wt％，所述盐酸的质量百分比为1.5wt％至3wt％。

4.如权利要求2所述的清洗方法，其特征在于，在所述氢氟酸、双氧水和盐酸的混合溶液中，所述氢氟酸的质量百分比为0.1wt％，所述双氧水的质量百分比为0.1wt％，所述盐酸的质量百分比为0.5wt％；或，

所述氢氟酸的质量百分比为2wt％，所述双氧水的质量百分比为2wt％，所述盐酸的质量百分比为5wt％；或，

所述氢氟酸的质量百分比为1wt％，所述双氧水的质量百分比为1wt％，所述盐酸的质量百分比为3wt％。

5.如权利要求2所述的清洗方法，其特征在于，所述太阳能电池硅片在所述氢氟酸、双氧水和盐酸的混合溶液中的浸泡预设时间为0.5min至10min。

6.如权利要求1所述的清洗方法，其特征在于，对太阳能电池硅片进行预清洗使得所述太阳能电池硅片表面产生氧化，具体包括：

将太阳能电池硅片放入氨水和双氧水的混合溶液中浸泡预设时间后取出，并用去离子水对所述太阳能电池硅片进行冲洗；

将完成上述步骤的太阳能电池硅片放入盐酸和双氧水的混合溶液中浸泡预设时间使得所述太阳能电池硅片表面产生氧化后取出，并用去离子水对所述太阳能电池硅片进行冲洗；

在对太阳能电池硅片进行预清洗之前，还包括：

将太阳能电池硅片放入氢氧化钠溶液中浸泡预设时间后取出，并用去离子水对所述太阳能电池硅片进行冲洗；

将完成上述步骤的太阳能电池硅片放入氢氧化钠和制绒添加剂的混合溶液中，在预设时间后取出，并用去离子水对所述太阳能电池硅片进行冲洗。

7.如权利要求6所述的清洗方法，其特征在于，在所述氨水和双氧水的混合溶液中，所述氨水的质量百分比为29wt％，所述双氧水的质量百分比为30wt％；

在所述盐酸和双氧水的混合溶液中，所述盐酸的质量百分比为37wt％，所述双氧水的质量百分比为30wt％；

在所述氢氧化钠溶液中，所述氢氧化钠的质量百分比为10wt％至30wt％；

在所述氢氧化钠和制绒添加剂的混合溶液中，所述氢氧化钠的质量百分比为5wt％，所述制绒添加剂的体积百分比为0.3vol％。

8.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括如权利要求1-7任一项所述的清洗方法。