[发明专利]一种光刻胶组合物、彩色滤光片及其制备方法有效
申请号: | 201610965304.0 | 申请日: | 2016-10-31 |
公开(公告)号: | CN108017730B | 公开(公告)日: | 2021-04-09 |
发明(设计)人: | 武少鹏;刘永祥;孙涛;任雪艳 | 申请(专利权)人: | 固安鼎材科技有限公司;北京鼎材科技有限公司 |
主分类号: | C08F2/48 | 分类号: | C08F2/48;G03F7/004;G03F7/027;G02B5/20 |
代理公司: | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人: | 耿超;王浩然 |
地址: | 065500 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光刻 组合 彩色 滤光 及其 制备 方法 | ||
本公开涉及一种光刻胶组合物、彩色滤光片及其制备方法,本公开的光刻胶组合物中含有改性光引发剂,该改性光引发剂中含有硅烷偶联剂结构单元,通过化学键与基板表面连接,因此在光刻胶涂膜过程中改性光引发剂会向基板表面迁移,使得彩色光刻胶组合物光固化体系中下层光引发剂浓度要大于表层光引发剂浓度,从而使曝光聚合时底部聚合程度增强,降低显影时底部溶解速率,同时改善由于上下层固化程度不同导致的表面不平整现象,最终形成平整平缓的坡度角。
技术领域
本公开涉及液晶显示材料领域,具体地,涉及一种光刻胶组合物、彩色滤光片及其制备方法。
背景技术
薄膜晶体显示器是现在的主流显示技术,液晶显示面板包括Array基板和彩色滤光片(CF),主要工序为Array、CF、Cell、Module。其中液晶显示器实现彩色化最重要的一个器件就是彩色滤光片,彩色滤光片包括RGB三色层,其制作工艺包括:涂膜、前烘、曝光、显影、后烘。而用来制备滤色片的彩色光刻胶,其性能直接影响到液晶显示器的显示效果。彩色光刻胶主要包括颜料、溶剂、单体、树脂、光引发剂、添加剂等,反应机理是将彩色光刻胶涂布在基板上,在紫外光照射下,光引发剂诱导单体进行交联聚合反应,非曝光部分被洗掉,曝光部分经过高温烘烤制备出三色层。
然而,由于是有色体系的光固化过程,且光刻胶涂布后有一定的厚度,会导致上下层固化程度不同,一般是上层固化较好,下层固化效率较低,由于固化聚合不同差异,高温后烘之后会由于膜的塌陷程度不同出现表面不平整现象,不能形成较为平缓的坡度角,导致后续ITO薄膜制作不均匀影响后续制程。
发明内容
本公开的目的是提供一种光刻胶组合物,该光刻胶组合物含有改性光引发剂,可以解决光刻胶上下层固化程度不同导致的表面不平整的技术问题。
本公开的另一目的是提供一种彩色滤光片的制备方法,该方法制备的彩色滤光片上下层固化程度一致,高温后烘干之后表面平整,成型质量高。
为了实现上述目的,本公开提供一种光刻胶组合物,该光刻胶组合物含有改性光引发剂、碱溶性树脂、感光性单体、着色剂和溶剂,所述改性光引发剂具有式(1)或式(2)所示的结构;
其中,X1、X2和X3各自独立地为X1、X2和X3各自独立地为OCH3、OCH2CH3、OC2H4OCH3、OSi(CH3)3和中的至少一种,n为1-5的整数,A为衍生自前体光引发剂的基团,所述前体光引发剂为含有羟基和/或环氧基的光引发剂。
本公开还提供一种彩色滤光片,该彩色滤光片包括基板和涂布于所述基板上并固化的光刻胶组合物;所述光刻胶组合物为上述的光刻胶组合物。
本公开还提供一种彩色滤光片的制备方法,该方法包括:
(1)使上述的光刻胶组合物混合均匀并涂布于基板上,静置以使改性光引发剂向所述基板表面迁移;
(2)使所述光刻胶组合物进行前烘烤,以除去所述光刻胶组合物中的溶剂;
(3)使所述除去溶剂的光刻胶组合物进行曝光,以使所述光刻胶组合物中的改性光引发剂引发感光性单体和碱溶性树脂在光照下发生聚合反应而固化,得到曝光后的光刻胶;
(4)使所述曝光后的光刻胶依次进行显影和后烘烤,得到所述彩色滤光片。
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