[发明专利]一种光刻胶组合物、彩色滤光片及其制备方法有效
申请号: | 201610965304.0 | 申请日: | 2016-10-31 |
公开(公告)号: | CN108017730B | 公开(公告)日: | 2021-04-09 |
发明(设计)人: | 武少鹏;刘永祥;孙涛;任雪艳 | 申请(专利权)人: | 固安鼎材科技有限公司;北京鼎材科技有限公司 |
主分类号: | C08F2/48 | 分类号: | C08F2/48;G03F7/004;G03F7/027;G02B5/20 |
代理公司: | 北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447 | 代理人: | 耿超;王浩然 |
地址: | 065500 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光刻 组合 彩色 滤光 及其 制备 方法 | ||
1.一种光刻胶组合物,其特征在于,该光刻胶组合物含有改性光引发剂、碱溶性树脂、感光性单体、着色剂和溶剂,所述改性光引发剂具有式(1)或式(2)所示的结构;
其中,X1、X2和X3各自独立地为OCH3、OCH2CH3、OC2H4OCH3、OSi(CH3)3和的至少一种,n为1-5的整数,A为衍生自前体光引发剂的基团,所述前体光引发剂为含有羟基和/或环氧基的光引发剂,所述改性光引发剂中含有硅烷偶联剂结构单元,且所述改性光引发剂为经硅烷偶联剂接枝改性的光引发剂。
2.根据权利要求1所述的光刻胶组合物,其特征在于,相对于100重量份所述碱溶性树脂,所述改性光引发剂的用量为5-50重量份,所述感光性单体的用量为50-500重量份,所述着色剂的用量为200-800重量份,所述溶剂的用量为300-1000重量份。
3.根据权利要求1所述的光刻胶组合物,其特征在于,所述前体光引发剂为选自2-羟基-2甲基-1-苯基酮、1-羟基-环已基苯甲酮、2-羟基-2-甲基-1-对羟乙基醚基苯基丙酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉苯基)丁酮、2-甲基-1-(4-甲硫基苯基)-2-吗啉基-1-丙酮和1-[4-(苯硫基)苯基]-1,2-辛烷二酮2-(O-苯甲酰肟)中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的光刻胶组合物,其特征在于,所述改性光引发剂具有式(3)-式(5)中所示结构中的任意一种;
5.根据权利要求1所述的光刻胶组合物,其特征在于,所述溶剂为选自二丙二醇甲醚、二乙二醇丁醚醋酸酯、乙二醇甲醚、乙二醇乙醚、丙二醇甲醚、丙酸-3-乙醚乙酯、丙二醇甲醚醋酸酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、二乙二醇二乙醚乙酸乙酯、环己烷中的至少一种;
所述碱溶性树脂为丙烯酸树脂和/或丙烯酸酯树脂;
所述感光性单体为1,6-乙二醇二丙烯酸酯、二缩丙二醇二丙烯酸酯、三缩丙二醇二丙烯酸酯、3-丙氧化甘油三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、乙氧化季戊四醇四丙烯酸酯、丙氧化季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯和二季戊四醇六丙烯酸酯中的至少一种。
6.根据权利要求1所述的光刻胶组合物,其特征在于,所述光刻胶组合物还含有助剂,所述助剂为选自增感剂、消泡剂、流平剂和附着力促进剂中的至少一种。
7.一种彩色滤光片,其特征在于,该彩色滤光片包括基板和涂布于所述基板上并固化的光刻胶组合物;所述光刻胶组合物为权利要求1-6中任意一项所述的光刻胶组合物。
8.一种彩色滤光片的制备方法,其特征在于,该方法包括:
(1)使权利要求1-6中任意一项所述的光刻胶组合物混合均匀并涂布于基板上,静置以使改性光引发剂向所述基板表面迁移;
(2)使所述光刻胶组合物进行前烘烤,以除去所述光刻胶组合物中的溶剂;
(3)使所述除去溶剂的光刻胶组合物进行曝光,以使所述光刻胶组合物中的改性光引发剂引发感光性单体和碱溶性树脂在光照下发生聚合反应而固化,得到曝光后的光刻胶;
(4)使所述曝光后的光刻胶依次进行显影和后烘烤,得到所述彩色滤光片。
9.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,该方法还包括使所述基板进行前处理,所述前处理步骤包括:紫外清洗和/或碱液清洗、纯水清洗和烘干;所述前烘烤的温度为80-120℃,所述前烘烤的时间为50-300s。
10.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,所述静置的时间为1-30min。
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