[发明专利]感光性组合物及其应用

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于形成电子零件中的绝缘材料、半导体装置中的钝化膜、缓冲涂膜、层间绝缘膜、或平坦化膜，或显示元件中的层间绝缘膜或彩色滤光片用保护膜等的感光性组合物、利用该感光性组合物的透明膜、及包含该膜的电子零件。

背景技术

在显示元件等元件的制造工序中，有时进行有机溶剂、酸、碱溶液等各种化学品处理，或者在通过溅射(sputtering)而成膜配线电极时，将表面局部地加热为高温。因此，有时为了防止各种元件的表面的劣化、损伤、变质而设置表面保护膜。对于这些保护膜，要求可以耐受如上所述的制造工序中的各种处理的各特性。具体而言，要求耐热性、耐溶剂性/耐酸性/耐碱性等耐化学品性、耐水性、对玻璃等基底基板的密接性、透明性、耐划伤性、平坦性、耐光性等。而且，在推进显示元件的高视角化、高速响应化、高精细化等高性能化的现状下，在用作彩色滤光片保护膜的情况下，期望透明性、耐热性及平坦化特性得到提高的材料。

用以形成这些保护膜的硬化性组合物的种类可大致区别为感光性组合物、热硬化性组合物。在形成膜时通过高温加热使热硬化性组合物完全硬化，因此，即使在其后的工序中存在有加热至高温的情况，产生的挥发成分也少，耐热性也优异。具有该优异特性的热硬化性的保护膜材料存在有聚酯酰胺酸组合物(例如，参照专利文献1)。然而，热硬化性组合物在制造屏分割时无法形成划痕线(scribe line)而大量地产生保护膜的细屑，因此在其后需要进行高度的屏洗净工序。

另一方面，感光性组合物包含具有光聚合性基的聚合物或寡聚物或者单体与光聚合引发剂，且因以紫外线为代表的光的能量而引起化学反应，并进行硬化。感光性组合物例如可容易地形成用于制造屏分割时的划痕线，因此存在有不产生保护膜的细屑等优点，相反的，与由热硬化性组合物所形成的保护膜相比，由通常的感光性组合物所形成的保护膜的耐热性不充分。

近年来，需要耐热性的保护膜的需求逐渐增加，进而需要微细图案形状的保护膜的需求也逐渐增加。由此，谋求可形成耐热性优异的保护膜且可形成微细图案的感光性组合物。

可形成具有非常优异的耐热性的保护膜的感光性组合物存在有聚酰亚胺前体组合物(例如，参照专利文献2)、可溶性聚酰亚胺组合物(例如，参照专利文献3)。然而，即便在任何的感光性组合物中，可使所得的聚酰亚胺前体组合物或可溶性聚酰亚胺组合物溶解的有机溶剂也被限定，也需要极性非常高的有机溶剂。

溶解聚酰亚胺前体组合物、可溶性聚酰亚胺组合物等的极性高的有机溶剂可列举：吡咯烷酮系、亚砜系、甲酰胺系、乙酰胺系、酚系、四氢呋喃、二噁烷、γ-丁内酯等。

特别是在将这些感光性组合物用作彩色滤光片保护膜的情况下，如果含有这些极性高的有机溶剂，则渗入基底的彩色滤光片层，例如像素中所含有的颜料或染料等着色材料溶出，因此难以制作高质量的显示元件。

将感光性组合物用于彩色滤光片的保护膜中的例子存在有专利文献4及专利文献5，但本发明人等人欲使用这些专利文献中所记载的感光性组合物来形成保护膜，结果所形成的图案并非令人充分满意，而期望进一步改良。

而且，不论感光性组合物、热硬化性组合物，都要求这些硬化性组合物在基底基板上的涂布性优异。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2008-156546号公报

[专利文献2]日本专利特开昭59-68332号公报

[专利文献3]日本专利特开2002-3516号公报

[专利文献4]日本专利特开2014-074787号公报

[专利文献5]日本专利特开2009-286904号公报

发明内容

[发明所欲解决的问题]

本发明的课题在于提供一种不需要极性高的有机溶剂，而透明性、耐热性、平坦性及解析性特别优异的硬化膜及提供该硬化膜的组合物。进而，提供一种具有所述硬化膜的电子零件。

[解决问题的技术手段]

本发明人等人为了解决所述课题而进行了努力研究，结果发现通过如下的组合物、及使该组合物硬化而获得的硬化膜可达成所述目的，从而完成了本发明，所述组合物包含聚酯酰胺酸、具有聚合性双键的化合物、光聚合引发剂、环氧化合物、环氧硬化剂及分子量调整剂，所述聚酯酰胺酸是由包含四羧酸二酐、二胺及多元羟基化合物的化合物的反应而获得。

本发明包含以下的构成。