[发明专利]一种全自动硅片插片机在审
申请号: | 201610467427.1 | 申请日: | 2016-06-24 |
公开(公告)号: | CN107546295A | 公开(公告)日: | 2018-01-05 |
发明(设计)人: | 李毛学 | 申请(专利权)人: | 昆山安谷自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/677;H01L21/66;H01L21/67 |
代理公司: | 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙)31297 | 代理人: | 周高 |
地址: | 215316 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 全自动 硅片 插片机 | ||
1.一种全自动硅片插片机,其特征在于,其包括机架和设于机架上的花篮输送装置和分片插片装置;所述花篮输送装置包括空花篮输送线、负载花篮输送线和用于转移和提升花篮的机械臂,空花篮输送线和负载花篮输送线相对设置于机架的两侧,所述机械臂设于机架上部且可自由移动;所述分片插片装置包括分片水槽、与分片水槽相邻设置的硅片传送带,所述分片水槽内设有流水,所述分片水槽旁设有回流槽,所述分片水槽和回流槽内设有磁力泵循环系统;所述分片水槽内设有用于将装有整叠硅片的花篮送入的主槽入口,主槽入口的底部设有输送装有整叠硅片的花篮的底部流水线,所述底部流水线的末端设有用于提升装有整叠硅片的花篮的提升治具,所述提升治具的上部设有用于分片的喷水装置;所述硅片传送带的另一端设有用于固定花篮的插片夹具,所述插片夹具由所述机械臂控制上下移动。
2.根据权利要求1所述的一种全自动硅片插片机,其特征在于:所述提升治具由液压机构控制上下移动。
3.根据权利要求1所述的一种全自动硅片插片机,其特征在于:所述硅片传送带的上方设有可检测破损硅片和不合格硅片的光电检测传感器。
4.根据权利要求1所述的一种全自动硅片插片机,其特征在于:所述硅片传送带的一侧设有破片盒。
5.根据权利要求1所述的一种全自动硅片插片机,其特征在于:所述分片水槽的底部设有方便清洁落入水槽底部碎片的清洁小槽。
6.根据权利要求1所述的一种全自动硅片插片机,其特征在于:所述机架上方设有机械臂运行轨道,机械臂可在花篮输送装置和分片插片装置之间自由运行。
7.根据权利要求1所述的一种全自动硅片插片机,其特征在于:所述机架上设有控制面板,所述控制面板内设有PLC控制器,用于控制各动作运行。
8.根据权利要求1所述的一种全自动硅片插片机,其特征在于:所述插片夹具上设有用于控制所述机械臂移动上下总行程的行程开关。
9.根据权利要求1所述的一种全自动硅片插片机,其特征在于:所述插片夹具上设有用于控制所述机械臂每次提升行程的光电开关。
10.根据权利要求1所述的一种全自动硅片插片机,其特征在于:所述花篮输送装置和分片插片装置上均设有用于故障报警的声光报警系统。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的