[发明专利]异质结太阳能电池片的切割方法有效
申请号: | 201610451612.1 | 申请日: | 2016-06-21 |
公开(公告)号: | CN105895745B | 公开(公告)日: | 2017-11-21 |
发明(设计)人: | 陆军威;张闻斌;王琪 | 申请(专利权)人: | 苏州协鑫集成科技工业应用研究院有限公司;协鑫集成科技(苏州)有限公司;协鑫集成科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;B23K26/38;B23K26/40 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人: | 唐清凯 |
地址: | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 异质结 太阳能电池 切割 方法 | ||
技术领域
本发明涉及太阳能电池领域,特别是涉及一种异质结太阳能电池片的切割方法。
背景技术
为了适应光伏市场多元化发展,在市场需求的功率和电压不能兼顾的时候,须对太阳能电池片进行激光切割。激光切割的原理是激光经过聚焦后照射到太阳能电池片上,使材料温度急剧升高至熔化或气化,随着激光与太阳能电池片的相对运动,在太阳能电池片上形成切缝从而达到切割的目的。激光切割具有①、切割精度高、切缝窄、质量好、热影响区较小,且切割端面平整光滑;②、切割速度快,加工效率高;③、是一种非接触式切割,没有机械加工力,不会产生形变,也不存在加工屑、油污、噪声等污染问题。
异质结太阳能电池(HIT电池)是通过在掺杂非晶硅层与晶体硅衬底之间加入本征层所构建的。异质结太阳能电池既具有晶体硅太阳能电池的高效率和高稳定性,同时由于能耗小,工艺相对简单、温度特性更好,在高温下也能有较高的输出。近年来备受关注,已经成为太阳能电池的主要发展方向之一。
目前,单晶硅电池片、或多晶硅电池片均使用红外激光切割仪切割而成,但是这种切割方法并不能很好地适用于异质结太阳能电池片的切割,其主要表现在:电池片的表面切割槽宽度过宽,并且对非晶硅薄膜以及透明导电层造成损伤。
发明内容
基于此,有必要针对现有的切割方法不适用于异质结太阳能电池片的问题,提供一种适用于异质结太阳能电池片的切割方法。
一种异质结太阳能电池片的切割方法,包括如下步骤:
用紫外激光从异质结太阳能电池片的一侧表面进行至少一次激光切割,形成切槽;
将具有所述切槽的异质结太阳能电池片进行裂片操作。
上述异质结太阳能电池片的切割方法,由于采用紫外激光进行切割,紫外激光在异质结太阳能电池片表面留下的切槽的宽度较窄,并且紫外激光作用于异质结太阳能电池片表面时产生热量较小,可以有效保护异质结太阳能电池片中的不能耐高温的材料(例如透明导电膜层),从而提高切割后的异质结太阳能电池片的性能。另外一方面,上述异质结太阳能电池片的切割方法,并不直接用紫外激光将异质结太阳能电池片切断,而只是形成切槽而已,通过后续的裂片操作将异质结太阳能电池片完全分离;由于异质结太阳能电池中,主要的厚度集中在中间的晶体硅层,切槽的方式可以实现只对晶体硅层的一侧的各功能层进行激光烧结气化,而晶体硅层的另一侧的各功能层不用烧结气化,有效保护了这些功能层的性能,进一步降低切割对异质结太阳能电池片的损伤。
在其中一个实施例中,所述紫外激光的波长为315~400nm。
在其中一个实施例中,所述紫外激光的功率小于等于5W。
在其中一个实施例中,所述激光切割的切割面为异质结太阳能电池片靠近N型硅的一侧表面。
在其中一个实施例中,在激光切割时,对切割处进行保护气吹扫。
在其中一个实施例中,所述保护气为氮气。
在其中一个实施例中,所述激光切割的次数为至少两次。
在其中一个实施例中,每次激光切割的切割深度为20~40μm。
在其中一个实施例中,所述切槽的深度与所述异质结太阳能电池片的厚度之比为1:2~2:3。
在其中一个实施例中,所述裂片操作为手工掰片。
附图说明
图1为本发明一实施例的异质结太阳能电池片的激光切割之后的结构状态示意图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合具体实施方式,对本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施方式仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
需要说明的是,当元件被称为“设置于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的,并不表示是唯一的实施方式。
除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的,不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
一种异质结太阳能电池片的切割方法,包括如下步骤:
步骤S1:用紫外激光从异质结太阳能电池片的一侧表面进行至少一次激光切割,形成切槽;
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