[发明专利]异质结太阳能电池片的切割方法有效
| 申请号： | 201610451612.1 | 申请日： | 2016-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN105895745B | 公开（公告）日： | 2017-11-21 |
| 发明（设计）人： | 陆军威;张闻斌;王琪 | 申请（专利权）人： | 苏州协鑫集成科技工业应用研究院有限公司;协鑫集成科技（苏州）有限公司;协鑫集成科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;B23K26/38;B23K26/40 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 异质结 太阳能电池 切割 方法 | ||
1.一种异质结太阳能电池片的切割方法，其特征在于，
所述异质结太阳能电池片为HIT电池；
所述切割方法包括如下步骤：
用紫外激光从异质结太阳能电池片的一侧表面进行至少一次激光切割，形成切槽；
将具有所述切槽的异质结太阳能电池片进行裂片操作，以使异质结太阳能电池片完全分离开。
2.根据权利要求1所述的异质结太阳能电池片的切割方法，其特征在于，所述紫外激光的波长为315～400nm。
3.根据权利要求2所述的异质结太阳能电池片的切割方法，其特征在于，所述紫外激光的功率小于等于5W。
4.根据权利要求1所述的异质结太阳能电池片的切割方法，其特征在于，所述激光切割的切割面为异质结太阳能电池片靠近N型硅的一侧表面。
5.根据权利要求1所述的异质结太阳能电池片的切割方法，其特征在于，在激光切割时，对切割处进行保护气吹扫。
6.根据权利要求5所述的异质结太阳能电池片的切割方法，其特征在于，所述保护气为氮气。
7.根据权利要求1所述的异质结太阳能电池片的切割方法，其特征在于，所述激光切割的次数为至少两次。
8.根据权利要求7所述的异质结太阳能电池片的切割方法，其特征在于，每次激光切割的切割深度为20～40μm。
9.根据权利要求1所述的异质结太阳能电池片的切割方法，其特征在于，所述切槽的深度与所述异质结太阳能电池片的厚度之比为1:2～2:3。
10.根据权利要求1所述的异质结太阳能电池片的切割方法，其特征在于，所述裂片操作为手工掰片。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
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