[发明专利]一种氮化物发光二极管有效
| 申请号: | 201610276668.8 | 申请日: | 2016-04-29 | 
| 公开(公告)号: | CN105742438B | 公开(公告)日: | 2018-03-02 | 
| 发明(设计)人: | 郑锦坚;钟志白;杨焕荣;杜伟华;廖树涛;李智杰;伍明跃;周启伦;林峰;李水清;康俊勇 | 申请(专利权)人: | 厦门市三安光电科技有限公司 | 
| 主分类号: | H01L33/14 | 分类号: | H01L33/14;H01L33/32 | 
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| 地址: | 361009 福建省厦*** | 国省代码: | 福建;35 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 氮化物 发光二极管 | ||
1.一种氮化物发光二极管,依次包括衬底,N型氮化物,多量子阱,V-pits,n型掺杂沟道区域,局域无掺杂区域,V-pits的局域电子阻挡层,P型氮化物,以及 P型接触层,其特征在于:所述多量子阱区域的V-pits两侧具有局域无掺杂区域,V-pits两侧局域无掺杂区域上方生长纳米尺度的局域电子阻挡层,通过定位掺杂使V-pits和V-pits之间形成量子级别的n型掺杂沟道区域,阻止电子和空穴泄漏至V-pits,降低非辐射复合。
2.根据权利要求1所述的一种氮化物发光二极管,其特征在于:所述n型掺杂沟道区域通过定位掺杂形成于V-pits与V-pits之间,使得电子和空穴局限在此区域进行跃迁和复合,提升载流子的复合效率并改善电流的横向及纵向扩展,提升发光强度和改善ESD。
3.根据权利要求1所述的一种氮化物发光二极管,其特征在于:所述V-pits两侧局域无掺杂区域的上方生长纳米尺度的局域电子阻挡层,用于阻挡热电子和空穴泄漏至V-pits,进一步降低非辐射复合,提升发光强度,并改善漏电。
4.根据权利要求1所述的一种氮化物发光二极管,其特征在于:所述n型沟道区域的大小为50nm~1000nm,掺杂浓度为1E17~1E20cm-3。
5.根据权利要求1所述的一种氮化物发光二极管,其特征在于:所述局域无掺杂区域的大小为50nm~1000nm,背景载流子浓度为1E15~1E17cm-3。
6.根据权利要求1所述的一种氮化物发光二极管,其特征在于:所述多量子阱区域的V-pits的大小为50~500 nm。
7.根据权利要求1所述的一种氮化物发光二极管,其特征在于:所述局域电子阻挡层的材料为AlxGa1-xN,其中0≤x≤1,尺寸大小为50~500nm。
8.根据权利要求1所述的一种氮化物发光二极管,其特征在于:所述衬底为蓝宝石、碳化硅、硅、氮化镓、氮化铝、氧化锌适合外延生长的衬底。
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