[发明专利]工业用机器人

说明书

技术领域

本发明涉及一种对搬运对象物进行搬运的工业用机器人。

背景技术

以往公知有对半导体晶圆进行搬运的工业用机器人(例如参照专利文献1)。专利文献1所记载的工业用机器人具有：第一手以及第二手，第一手以及第二手这两个手装载半导体晶圆；多关节臂部，第一手以及第二手能够转动地连接到多关节臂部的末端侧；以及主体部，多关节臂部的基端侧能够转动地连接到主体部。第一手与第二手以在上下方向上重叠的方式配置。第一手以及第二手具有：两个装载部，所述装载部装载半导体晶圆；以及细长的大致长方体的基部，两个装载部被固定在所述基部的两端侧。基部的中心部分能够转动地连接到多关节臂部的末端侧。

并且，专利文献1所记载的工业用机器人具有：用于使第一手转动的驱动用马达；以及用于使第二手转动的驱动用马达，第一手与第二手能够分开转动。两个驱动用马达配置在主体部的内部。在该工业用机器人中，在搬运半导体晶圆时，第一手与第二手分开转动，从而形成为：从上下方向观察时第一手与第二手重叠的状态(合拢的状态)，或从上下方向观察时第一手与第二手不重叠而以规定的角度相交的状态(张开的状态)。另外，该工业用机器人不仅具有用于使第一手以及第二手转动的两个驱动用马达，还具有用于使多关节臂部伸缩的两个驱动用马达。这两个驱动用马达也配置在主体部的内部。

专利文献1：日本特开2009-83031号公报

发明内容

发明所要解决的课题

在专利文献1所述的工业用机器人中，第一手和第二手能够分开转动，并且能够将第一手和第二手设成合拢的状态或张开的状态。然而，在该工业用机器人中，由于设有用于使第一手转动的驱动用马达和用于使第二手转动的驱动用马达，因此供驱动用马达配置在内部的主体部大型化。

因此，本发明的课题在于提供一种即使能够将第一手和第二手设成合拢的状态或张开的状态，也能够将供马达配置在内部的主体部小型化的工业用机器人。

用于解决课题的技术方案

为了解决上述课题，本发明的工业用机器人具有：第一手以及第二手，第一手以及第二手装载搬运对象物，且在上下方向上重叠配置；臂，第一手以及第二手能够转动地连接到臂的末端侧；主体部，臂的基端侧能够转动地连接到主体部；以及手转动机构，手转动机构使第一手以及第二手转动，手转动机构具有：驱动用的马达，马达配置在主体部的内部；第一动力传递机构，第一动力传递机构用于将马达的动力传递到第一手；第二动力传递机构，第二动力传递机构用于将马达的动力传递到第二手；以及共用动力传递机构，共用动力传递机构在从马达向第一手以及第二手传递动力的动力传递路径上配置在第一动力传递机构以及第二动力传递机构与马达之间，第一动力传递机构具有：第一齿轮；第二齿轮；以及供第二齿轮固定的第一旋转轴，第二动力传递机构具有：第三齿轮；第四齿轮；以及供第四齿轮固定的第二旋转轴，共用动力传递机构具有供第一齿轮以及第三齿轮固定的共用旋转轴，第一旋转轴以及第二旋转轴中的至少一个呈中空状形成，第一旋转轴与第二旋转轴呈同心状配置，第一齿轮与第二齿轮直接或借助中间齿轮连接，第三齿轮与第四齿轮直接或者借助中间齿轮连接，以使第二齿轮和第四齿轮彼此朝向相反的方向旋转。

在本发明的工业用机器人中，用于将马达的动力传递到第一手的第一动力传递机构具有：第一齿轮；第二齿轮；以及供第二齿轮固定的第一旋转轴，用于将马达的动力传递到第二手的第二动力传递机构具有：第三齿轮；第四齿轮；以及供第四齿轮固定的第二旋转轴。并且，在本发明中，第一齿轮和第三齿轮被固定于共用旋转轴，且第一旋转轴与第二旋转轴呈同心状配置。而且，在本发明中，第一齿轮与第二齿轮直接或者借助中间齿轮连接，第三齿轮与第四齿轮直接或者借助中间齿轮连接，以使第二齿轮和第四齿轮彼此朝向相反的方向旋转。因此，在本发明中，能够利用与共用的马达连接的且彼此朝向相反的方向旋转的第二齿轮和第四齿轮使第一手与第二手朝向相反方向旋转，并将第一手与第二手设为合拢的状态或张开的状态。因此，在本发明中，即使能够将第一手与第二手设成合拢的状态或张开的状态，也能够减少马达的数量，其结果是能够将供马达配置在内部的主体部小型化。

在本发明中，优选第一齿轮与第二齿轮直接连接，第三齿轮与第四齿轮借助一个中间齿轮连接。如果像这样构成，则能够使用最少数量的中间齿轮使第二齿轮与第四齿轮彼此朝向相反的方向旋转。因此，能够简化手转动机构的结构。