[发明专利]半导体激光元件

权利要求书

1.一种半导体激光元件，其特征在于，具备：

基板；半导体部，其设置于上述基板上且在上述基板的相反侧的面具有隆脊；上部电极，其设置于上述隆脊上；绝缘膜，其设置于上述隆脊的两侧的半导体部上；隔板部，其设置于上述绝缘膜上；焊垫电极，其设置于上述上部电极以及上述绝缘膜上，至少覆盖上述隔板部的一部分；和下部电极，其设置于设置有上述半导体部的上述基板的面的相反侧的面，该半导体激光元件将上述焊垫电极侧作为安装面侧，

上述隔板部包含仅设置在上述隆脊的出射端面的附近的第1隔板部以及仅设置在上述隆脊的反射端面的附近的第2隔板部，

上述第1隔板部在上述隆脊的两侧分离，上述第2隔板部在上述隆脊的两侧分离，

上述焊垫电极形成为位于上述隆脊的上方的上表面、与位于上述隔板部的上方的上表面实质上处于相同的高度，

上述焊垫电极与上述绝缘膜相接。

2.如权利要求1所述的半导体激光元件，其中，

上述上部电极的上表面与上述第1隔板部的上表面的高低差小于50nm。

3.如权利要求1所述的半导体激光元件，其中，

上述上部电极的上表面与上述第1隔板部的上表面的高低差小于30nm。

4.如权利要求1所述的半导体激光元件，其中，

上述焊垫电极在谐振器长度方向上一体地覆盖上述第1隔板部的上表面、上述绝缘膜的上表面以及上述第2隔板部的上表面。

5.如权利要求1所述的半导体激光元件，其中，

在上述半导体部的缘部具备朝隆脊的延伸方向延伸的段差部，

上述段差部被上述绝缘膜覆盖。

6.如权利要求1所述的半导体激光元件，其中，

上述隔板部由绝缘材料构成。