[发明专利]成膜装置

权利要求书

1.一种成膜装置，其特征在于，包括：

旋转轴；

与所述旋转轴连接的旋转台，该旋转台在相对于所述旋转轴的中心轴线在周向上排列的多个载置区域内保持多个晶片，且具有保持所述多个晶片的第一面和与该第一面相反的一侧的第二面；

基座，该基座在其内部空间收纳所述旋转台；

气体供给机构，其在所述内部空间中，形成从所述旋转台的外侧沿与所述中心轴线正交的方向的处理气体的流动；

收纳所述基座的容器；

以覆盖所述基座的方式设置于所述容器与所述基座之间的第一隔热件；和

设置于所述内部空间内的所述第二面与所述基座之间的第二隔热件，该第二隔热件设置于相对于所述中心轴线比距所述中心轴线最近的所述多个载置区域内的位置更靠外侧，且相对于所述中心轴线比距所述中心轴线最远的所述多个载置区域内的位置更靠内侧的隔热区域。

2.如权利要求1所述的成膜装置，其特征在于：

所述第二隔热件具有在所述隔热区域内延伸的环状板形状。

3.如权利要求1或2所述的成膜装置，其特征在于：

还包括搭载于所述旋转台上的保持件，

所述保持件提供所述多个载置区域。