[发明专利]用于移除光刻胶的剥离剂组合物以及使用其剥离光刻胶的方法

权利要求书

1.一种用于移除光刻胶的剥离剂组合物，其包含：

0.1重量％至10重量％的至少一种胺化合物；

15重量％至80重量％的至少一种选自非质子极性有机溶剂和水的溶剂；

30重量％至80重量％的质子极性有机溶剂；以及

0.0005重量％至0.1重量％的聚醚改性的聚二甲基硅氧烷，所述聚醚改性的聚二甲基硅氧烷在20℃下的动态粘度为25mPa·s至250mPa·s且包含20摩尔％至70摩尔％的引入有聚醚类官能团的聚二甲基硅氧烷重复单元，

其中所述聚醚改性的聚二甲基硅氧烷在20℃和1标准大气压下的密度为1.03g/cm³或更大，

其中引入有所述聚醚类官能团的所述聚二甲基硅氧烷重复单元包括由下式1表示的重复单元：

[式1]

在上式1中，

n为5至10的整数，

其中，所述用于移除光刻胶的剥离剂组合物中，上述组分的含量百分数之和小于或等于100重量％。

2.根据权利要求1所述的用于移除光刻胶的剥离剂组合物，

其中所述聚醚类官能团包括聚氧化烯，所述聚氧化烯包含具有1至5个碳原子的氧化烯重复单元。

3.根据权利要求1所述的用于移除光刻胶的剥离剂组合物，

其中所述聚醚改性的聚二甲基硅氧烷包含20摩尔％至70摩尔％的所述引入有聚醚类官能团的聚二甲基硅氧烷重复单元，以及残余量的聚二甲基硅氧烷重复单元。

4.根据权利要求1所述的用于移除光刻胶的剥离剂组合物，

其中所述胺化合物包括选自链胺化合物和环胺化合物中的一种或更多种。

5.根据权利要求4所述的用于移除光刻胶的剥离剂组合物，

其中所述链胺化合物包括选自以下中的一种或更多种：(2-氨基乙氧基)-1-乙醇、氨基乙基乙醇胺、单甲醇胺、单乙醇胺、N-甲基乙基胺、1-氨基异丙醇、甲基二甲基胺、二亚乙基三胺、2-甲基氨基乙醇、3-氨基丙醇、二乙醇胺、三乙醇胺、二乙基氨基乙醇、以及三亚乙基四胺。

6.根据权利要求4所述的用于移除光刻胶的剥离剂组合物，

其中所述环胺化合物包括选自以下中的一种或更多种：1-咪唑烷乙醇、氨基乙基哌嗪、以及羟基乙基哌嗪。

7.根据权利要求1所述的用于移除光刻胶的剥离剂组合物，

其中所述非质子极性有机溶剂包括选自以下中的一种或更多种溶剂：具有1至5个碳原子的直链烷基或支链烷基经氮单取代或二取代的酰胺类化合物、砜以及亚砜。

8.根据权利要求7所述的用于移除光刻胶的剥离剂组合物，

其中所述具有1至5个碳原子的直链烷基或支链烷基经氮单取代或二取代的酰胺类化合物包括乙基经氮单取代或二取代的酰胺类化合物。

9.根据权利要求1所述的用于移除光刻胶的剥离剂组合物，

其中所述质子极性有机溶剂包括亚烷基二醇或亚烷基二醇单烷基醚。

10.根据权利要求9所述的用于移除光刻胶的剥离剂组合物，

其中所述亚烷基二醇或亚烷基二醇单烷基醚包括选自以下中的一种或更多种：双(2-羟乙基)醚、二乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单丁醚、丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、丙二醇单丁醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单丙醚、二乙二醇单丁醚、二丙二醇单甲醚、二丙二醇单乙醚、二丙二醇单丙醚、二丙二醇单丁醚、三乙二醇单甲醚、三乙二醇单乙醚、三乙二醇单丙醚、三乙二醇单丁醚、三丙二醇单甲醚、三丙二醇单乙醚、三丙二醇单丙醚、以及三丙二醇单丁醚。

11.根据权利要求1所述的用于移除光刻胶的剥离剂组合物，

其还包含缓蚀剂。

12.根据权利要求11所述的用于移除光刻胶的剥离剂组合物，

其中所述缓蚀剂包括三唑类化合物或四唑类化合物。