[实用新型]一种硅片花篮有效
申请号: | 201520631122.0 | 申请日: | 2015-08-20 |
公开(公告)号: | CN204885114U | 公开(公告)日: | 2015-12-16 |
发明(设计)人: | 钱钢 | 申请(专利权)人: | 上海嘉氟新材料科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
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地址: | 201606 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 花篮 | ||
技术领域
本实用新型涉及硅片生产技术领域,尤其涉及一种硅片花篮。
背景技术
电池硅片在自动生产制造过程中,需要通过花篮进行周转,由于花篮基本都是在自动设备上使用,对花篮的尺寸精确度有较为严格的要求。现有的硅片花篮主要是25片装的整体注塑成型花篮,原50片或100片硅片花篮采用焊接插片杆的结构方式,这些插片杆容易松动或掉落,影响硅片处理过程中固定的可靠性,不方便维修,使用成本高。
实用新型内容
有鉴于此,本实用新型的目的是提供一种硅片花篮,以解决现有技术中的不足。
为了达到上述目的,本实用新型的目的是通过下述技术方案实现的:
一种硅片花篮,其中,包括花篮本体,所述花篮本体包括两块端板和若干固定杆,所述固定杆两端可拆卸式固定在所述端板上后相互平行地设置在两块所述端板之间,所述固定杆包括四根侧杆和两根底杆,所述侧杆均匀分布在所述花篮本体的两侧,所述侧杆的内侧均匀分布有第一槽齿,所述底杆的上表面均匀分布有第二槽齿。
上述硅片花篮,其中,所述第一槽齿和所述第二槽齿为不连续,中部均设有槽口。
上述硅片花篮,其中,所述第一槽齿和所述第二槽齿的形状不同。
上述硅片花篮,其中,所述花篮本体采用PVDF全包裹。
上述硅片花篮,其中,所述固定杆两端与所述端板采用螺纹连接。
与已有技术相比,本实用新型的有益效果在于:
方便维修,降低使用成本,保证硅片处理过程中固定的可靠性,提高工作效率。
附图说明
构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解,本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:
图1示出了本实用新型硅片花篮的结构示意图;
图2示出了本实用新型硅片花篮的主视图;
图3是图2的俯视图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
需要说明的是,在不冲突的情况下,本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
参考图1、图2和图3所示,本实用新型硅片花篮包括花篮本体1,花篮本体1包括两块端板2和若干固定杆,固定杆两端可拆卸式固定在端板2上后相互平行地设置在两块端板2之间,固定杆包括四根侧杆3和两根底杆4,侧杆3均匀分布在花篮本体1的两侧,侧杆3的内侧均匀分布有第一槽齿5,底杆4的上表面均匀分布有第二槽齿6。
在本实用新型的优选实施例中,侧杆3的第一槽齿5相互配合,用于承载夹持硅片,底杆4用于提供向上托力,第一槽齿5和第二槽齿6为不连续,中部均设有槽口7,第一槽齿5和第二槽齿6的形状不同。
花篮本体1采用PVDF全包裹,起保护作用。
固定杆两端与端板2采用螺纹连接,方便维修,降低人工及制造成本。
从上述实施例可以看出,本实用新型的优势在于:
方便维修,降低使用成本,保证硅片处理过程中固定的可靠性,提高工作效率。
以上对本实用新型的具体实施例进行了详细描述,但本实用新型并不限制于以上描述的具体实施例,其只是作为范例。对于本领域技术人员而言,任何等同修改和替代也都在本实用新型的范畴之中。因此,在不脱离本实用新型的精神和范围下所作出的均等变换和修改,都应涵盖在本实用新型的范围内。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造