[实用新型]MEMS麦克风及移动终端有效
| 申请号： | 201520620657.8 | 申请日： | 2015-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN204948351U | 公开（公告）日： | 2016-01-06 |
| 发明（设计）人： | 万蔡辛;朱佳辉 | 申请（专利权）人： | 北京卓锐微技术有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;张靖琳 |
| 地址： | 100191 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 移动 终端 | ||
【权利要求书】：
1.一种MEMS麦克风，包括振膜、背极板以及所述振膜的锚区与背极板的之间的第一支撑层，其特征在于，
所述背极板设置有第一凹槽，背极焊盘设置于所述第一凹槽。
2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第一支撑层设置有与所述第一凹槽对应的第二凹槽，所述第二凹槽在所述第一凹槽的下方。
3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第一凹槽的深度大于所述背极焊盘的厚度的一半。
4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS麦克风还包括振膜的锚区和衬底之间的第二支撑层。
5.一种移动终端，其特征在于，包括如权利要求1至4任一项所述的MEMS麦克风。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京卓锐微技术有限公司，未经北京卓锐微技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201520620657.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
