[实用新型]一种印刷前硅片清洁装置有效
申请号: | 201520455811.0 | 申请日: | 2015-06-26 |
公开(公告)号: | CN204696088U | 公开(公告)日: | 2015-10-07 |
发明(设计)人: | 江坚;卢玉荣;王仕鹏;黄海燕;陆川 | 申请(专利权)人: | 浙江正泰太阳能科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 北京汉昊知识产权代理事务所(普通合伙) 11370 | 代理人: | 冯谱;孙文韬 |
地址: | 310053 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 印刷 硅片 清洁 装置 | ||
技术领域
本实用新型属于太阳能电池性能制备设备领域,具体地说涉及一种印刷前硅片清洁装置。
背景技术
在太阳能电池片整个生产流程中,碎片率对良率有直接影响。碎片率是太阳能电池生产的一项重要指标。有效控制碎片率可以显著降低太阳能电池的生产成本。因此,在太阳能电池的制备过程中,减小对电池片的损伤、降低碎片率,一直是技术改进的目标。
碎片,即晶体断裂,指晶体在应力作用下应变大于其临界断裂应变时发生的结构上的解离。从微观角度讲是在应力的作用下晶体内部的原子偏离了平衡位置且超出了原子间结合力的范围晶格发生了断裂。硅材料是典型的金刚石型晶体结构,各原子间通过共价键结合,为典型的脆性材料,易发生脆断。晶硅在其生长过程中可能会由于尺寸大、原料纯度不高、生长工艺条件不合理等原因而具有较大的内应力,甚至局部已突破断裂应变产生了微型隐裂。由于晶体内应力及微裂纹的存在,任意一道工序中可能出现的轻微机械力,都可能使硅片成为碎片。
在太阳能电池片整个生产流程中,网版的使用寿命会对生产成本产生较大影响。网版的使用寿命主要取决于对丝网印刷的过程控制,减少印刷时产生碎片或崩边可有效延长网版的使用寿命,而在印刷前去除硅片表面杂质可有效减少碎片的出现。因而,减少碎片率可有效提高网版的使用寿命,进而降低太阳能电池片的生产成本。
目前在太阳能电池片的生产过程中,采用对硅片表面进行吹气的操作来去除硅片表面的杂质,但是,有些杂质并不能被有效的吹走。这些杂质残留在硅片表面,就会影响一道印刷造成碎片和/或网版漏浆。而将吹气量调大,可以将杂质吹走,但是过大的气流本身就会造成较高的碎片率。
实用新型内容
为了解决现有技术中的缺陷,减小太阳能电池片生产过程中碎片率的产生,本实用新型提供了一种印刷前硅片清洁装置。
根据本实用新型的一个方面,提供一种印刷前硅片清洁装置,其特征在于,所述印刷前硅片清洁装置包括:门帘、风刀、固定架;
所述门帘和所述风刀均设置于所述固定架上;
所述门帘垂直于地面设置;所述风刀与地面成一定角度设置;
所述风刀设置于所述门帘的一侧。
根据本实用新型的一个具体实施方式,所述门帘采用无尘纸材料制备。
根据本实用新型的另一个具体实施方式,所述风刀采用不锈钢或铝合金材料制备。
根据本实用新型的另一个具体实施方式,所述风刀采用压缩空气、涡流风机和/或高压离心风机驱动。
本实用新型提供的印刷前硅片清洁装置制造成本低,在目前常用的印刷前清洁设备原始结构上进行改造即可。改造成本低,改造方案简单可行,节约成本,易于实现。可以有效去除硅片表面的杂质,防止碎渣进入一道印刷。由于表面杂质去除彻底,印刷造成的碎片会大大降低。并且由于去除杂质后的硅片表面不容易对网版造成伤害,因此可延长网版使用寿命,进一步降低生产成本。
附图说明
通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述,本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
图1所示为根据本实用新型提供的一种印刷前硅片清洁装置的结构示意图。
附图中相同或相似的附图标记代表相同或相似的部件。
具体实施方式
下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开,下文中对特定例子的部件和设置进行描述。此外,本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或字母。这种重复是为了简化和清楚的目的,其本身不指示所讨论各种实施例和/或设置之间的关系。应当注意,在附图中所图示的部件不一定按比例绘制。本实用新型省略了对公知组件和处理技术及工艺的描述以避免不必要地限制本实用新型。
参考图1,图1所示为根据本实用新型提供的一种印刷前硅片清洁装置的结构示意图。一种印刷前硅片清洁装置,所述印刷前硅片清洁装置包括:门帘3、风刀1和固定架(图中未示出)。
所述门帘3和所述风刀1均设置于所述固定架上。
优选的,所述门帘3采用无尘纸材料制备。无尘纸表面柔软,其硬度不会破坏硅片表面的减反钝化膜;而且又可以达到清洁硅片表面的目的。
风刀1产生出强大的风幕,可用于吹除硅片表面的杂质。优选的,所述风刀1采用不锈钢或铝合金材料制备。铝合金风刀在制造工艺上经过电镀处理,使用寿命远长于其它同类产品;不锈钢风刀可用于高温及高腐蚀环境。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造