[实用新型]MEMS 压力传感器

权利要求书

1.一种MEMS压力传感器，其特征在于，包括：

一压力敏感膜，具有一正面和一背面；

至少四正面压敏电阻；以及

至少四背面压敏电阻，每所述正面压敏电阻和每所述背面压敏电阻分别设于所述压力敏感膜的正面和背面，其中每所述正面压敏电阻和每所述背面压敏电阻电连接后得以感测压力。

2.如权利要求1所述的MEMS压力传感器，每所述正面压敏电阻与每所述背面压敏电阻被设于所述压力敏感膜正面和背面相对应的位置，通过将不同位置的一个所述正面压敏电阻和一个所述背面压敏电阻相串联，全部按预定方式串联后形成四压敏电阻对，将每所述压敏电阻对电连接形成一个惠斯通电桥。

3.如权利要求2所述的MEMS压力传感器，所述压敏电阻对电连接形成惠斯通电桥后进而电连接于一集成电路，进行信号输出，得到所述MEMS压力传感器的信号值。

4.如权利要求2所述的MEMS压力传感器，将压阻系数相同的所述正面压敏电阻和所述背面压敏电阻相串联。

5.如权利要求3所述的MEMS压力传感器，将压阻系数相同的所述正面压敏电阻和所述背面压敏电阻相串联。

6.如权利要求1所述的MEMS压力传感器，每所述正面压敏电阻与每所述背面压敏电阻被设于所述压力敏感膜正面和背面相对应的位置，每所述正面压敏电阻电连接形成一个惠斯通电桥，每所述背面压敏电阻电连接形成一个惠斯通电桥。

7.如权利要求6所述的MEMS压力传感器，所述正面压敏电阻和所述背面压敏电阻各自电连接后形成的惠斯通电桥分别电连接于一集成电路并分别进行信号输出，对两组输出的信号值取平均值，得到所述MEMS压力传感器的信号值。

8.如权利要求2至7任一所述的MEMS压力传感器，设于所述压力敏感膜的正面和背面的相对应位置的所述正面压敏电阻的阻值与所述背面压敏电阻的阻值相等，其阻值随压力的变化是相反的。

9.如权利要求2至5中任一所述的MEMS压力传感器，通过在所述压力敏感膜内部预置导电材料来连接每所述正面压敏电阻和每所述背面压敏电阻。

10.如权利要求8所述的MEMS压力传感器，所述压力敏感膜的背面包括二背面台阶和具有一背面键合槽，其中所述背面台阶围在所述背面键合槽的边缘，其中所述压力敏感膜适于通过所述背面台阶与一衬底相连接，所述背面键合槽适于排布所述背面压敏电阻。