[发明专利]一种多源自供电集成电路有效
| 申请号: | 201510980999.5 | 申请日: | 2015-12-23 |
| 公开(公告)号: | CN105470244B | 公开(公告)日: | 2019-01-25 |
| 发明(设计)人: | 陈远宁;戴征武;章伟聪 | 申请(专利权)人: | 宁波微能物联科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/66 | 分类号: | H01L23/66;H01L31/068;H01L27/06 |
| 代理公司: | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人: | 李媛媛 |
| 地址: | 315800 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 源自 供电 集成电路 | ||
1.一种多源自供电集成电路,其特征在于,包括多源能量采集器和集成电路,所述多源能量采集器和集成电路共同集成在P型或N型衬底上,所述多源能量采集器包括PN结和覆盖在PN结上的抗反射层;所述集成电路设置在与PN结相反一面的衬底上;所述衬底的外部包裹有封装外壳,封装外壳为U形结构或者全封闭结构,所述多源能量采集器的P区和N区分别通过封装外壳内的金属导线直接连接到集成电路,多源能量采集器采集能量后为集成电路供电;所述多源能量采集器还包括射频能源采集天线,射频能源采集天线设置在抗反射层上或者设置在与PN结相反一面的衬底上,或者同时在这两个面都设置;所述射频能源采集天线连接到集成电路,天线采集能量后为集成电路供电;所述射频能量采集天线包括非闭合的钩状结构的射频能量采集单元,所述非闭合的钩状结构包括直线部分和钩子部分,其中直线部分的宽度小于钩子部分的宽度,钩子部分的开口面积小于闭合面积。
2.如权利要求1所述的一种多源自供电集成电路,其特征在于,所述射频能源采集天线与集成电路之间还设有乘法电路。
3.如权利要求2所述的一种多源自供电集成电路,其特征在于,所述乘法电路设置在衬底外部或者集成在衬底内。
4.如权利要求1至3之一所述的一种多源自供电集成电路,其特征在于,所述P区和N区分别设有重掺杂区,重掺杂区与集成电路相连。
5.一种如权利要求1所述的多源自供电集成电路的制备方法,其特征在于,
所述制备方法包括如下步骤:
(1)在P型或N型衬底上形成多源能量采集器的PN结,在具有PN结一面的衬底上通过绝缘体钝化工艺形成抗反射层;
(2)在与PN结相反一面的衬底上覆盖外延层,在外延层上利用集成电路制备工艺制备集成电路;
(3)制备衬底的封装外壳,所述封装外壳包裹在衬底的外周并连接衬底的正反两面,形成两个U形结构或者一个全封闭结构,封装外壳分别与集成电路和多源能量采集器的P区和N区联通,使用金属沉积工艺分别在封装外壳内形成金属导线,金属导线将集成电路分别连接到所述多源能量采集器的P区和N区。
6.如权利要求5所述的制备方法,其特征在于,在抗反射层的表面或者在与PN结相反一面的衬底上,或者同时在这两个表面上,通过金属淀积工艺形成射频能源采集天线;然后使用金属沉积、光刻、剥离或掩膜工艺形成金属连接线,将射频能源采集天线连接到集成电路为其供电。
7.如权利要求6所述的制备方法,其特征在于,所述射频能源采集天线与集成电路之间还连接有乘法电路。
8.如权利要求7所述的制备方法,其特征在于,所述乘法电路设置在衬底外部,或者与集成电路同时集成在衬底内。
9.如权利要求5至8之一所述的制备方法,其特征在于,在PN结的P区和N区内分别制备有重掺杂区,两个连接孔分别与重掺杂区连通。
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