[发明专利]物品保管设备有效
申请号: | 201510871114.8 | 申请日: | 2015-12-02 |
公开(公告)号: | CN105655274B | 公开(公告)日: | 2020-08-04 |
发明(设计)人: | 安部健史;上田俊人 | 申请(专利权)人: | 株式会社大福 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/677 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 朱美红;李婷 |
地址: | 日本大阪*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 物品 保管 设备 | ||
1.一种物品保管设备,具备物品收存搁架、输送用移动体和壁状体;
上述物品收存搁架在沿着水平方向的第1方向及沿着上下方向的第2方向上具备多个收存部,上述收存部将收容有半导体基板的容器收存;
上述输送用移动体在行进路径上沿着上述第1方向移动自如,上述行进路径在上述物品收存搁架的前表面上沿着上述第1方向设置;
上述壁状体设在内部空间的侧周围,将外部空间和上述内部空间在俯视中划分,上述物品收存搁架及上述输送用移动体配置在上述内部空间中;
这里,上述输送用移动体具备在上述收存部与自己之间自如移载上述容器的移载装置;
上述物品保管设备的特征在于,
上述行进路径在被上述壁状体截断的状态下遍及上述内部空间和上述外部空间连续形成;
在上述壁状体的将上述行进路径截断的部分即路径截断壁部上,形成有上述输送用移动体能够穿过的开口部;
在上述开口部设有门体,上述门体以沿着上述第2方向的门体用摆动轴为轴心摆动自如;
上述门体构成为,将姿势向以沿着上述路径截断壁部的姿势将上述开口部闭塞的闭姿势、和位于上述内部空间侧且以上述输送用移动体能够穿过的方式将上述开口部开放的开姿势切换自如;
上述物品保管设备具备闭塞体,将上述开口部包含在上述输送用移动体的上述第1方向的存在范围内的上述输送用移动体的位置作为对象位置,在将上述门体的姿势切换为上述开姿势与上述闭姿势之间的中间姿势或上述开姿势并且使上述输送用移动体停止在上述对象位置的状态下,上述闭塞体能够切换为将上述内部空间与上述外部空间连通的部分闭塞的闭塞状态。
2.如权利要求1所述的物品保管设备,其特征在于,
上述闭塞体是子门体,上述子门体以闭塞体用摆动轴为轴心摆动自如地相对于上述门体安装;
上述闭塞体用摆动轴在上述门体中配置在俯视中与上述门体用摆动轴相反侧的端部;
设在俯视中上述门体与上述子门体在上述闭塞体用摆动轴处所成的角为摆动角,上述子门体构成为,将姿势向在俯视中沿着上述门体的收存用姿势、和与上述收存用姿势相比上述摆动角为大的角度的闭塞用姿势切换自如;
物品保管设备构成为,通过将上述门体的姿势切换为上述中间姿势并将上述子门体的姿势切换为上述闭塞用姿势,使上述闭塞体成为上述闭塞状态。
3.如权利要求2所述的物品保管设备,其特征在于,
上述门体在上述第2方向上被分割为多个分割部分,并且上述多个分割部分分别构成为,将姿势向上述开姿势和上述闭姿势切换自如;
在上述多个分割部分中的至少一个分割部分上设有上述子门体。
4.如权利要求3所述的物品保管设备,其特征在于,
上述输送用移动体具备沿着上述行进路径行进移动自如的行进台车、立设在上述行进台车上的升降桅杆、和被上述升降桅杆导引而升降移动的升降体;
上述升降桅杆立设在上述行进台车的比上述第1方向上的中央部靠上述第1方向的一侧即第1侧的部分上;
上述升降体以从上述升降桅杆向与上述第1侧相反侧伸出的状态设置;
上述输送用移动体当位于上述内部空间时,以上述第1侧为朝向上述门体的一侧的朝向设置。
5.如权利要求1~4中任一项所述的物品保管设备,其特征在于,
还具备:
门状态检测部,检测上述门体是否是上述闭姿势以及上述闭塞体是否是上述闭塞状态;和
控制部,控制上述输送用移动体的输送动作;
这里,上述控制部构成为,以是动作许可状态为条件,使上述输送用移动体输送动作,上述动作许可状态是由上述门状态检测部检测出上述门体是上述闭姿势的状态或由上述门状态检测部检测出上述闭塞体不是上述闭塞状态的状态的某个。
6.如权利要求5所述的物品保管设备,其特征在于,
还具备:
第1输送用移动体及第2输送用移动体这两台上述输送用移动体,在上述行进路径上分别行进;
作为上述开口部的第1开口部,设在上述壁状体上的沿着上述第1方向从上述第2输送用移动体朝向上述第1输送用移动体的一侧的端部;
作为上述门体的第1门体,设在上述第1开口部;
作为上述闭塞体的第1闭塞体,对应于上述第1门体而设置;
第1门状态检测部,检测上述第1门体是否是上述闭姿势以及上述第1闭塞体是否是上述闭塞状态;
作为上述开口部的第2开口部,设在上述壁状体上的沿着上述第1方向从上述第1输送用移动体朝向上述第2输送用移动体的一侧的端部;
作为上述门体的第2门体,设在上述第2开口部;
作为上述闭塞体的第2闭塞体,对应于上述第2门体而设置;和
第2门状态检测部,检测上述第2门体是否是上述闭姿势以及上述第2闭塞体是否是上述闭塞状态;
这里,上述控制部构成为,以是第1动作许可状态为条件,使上述第1输送用移动体输送动作,并且以是第2动作许可状态为条件,使上述第2输送用移动体输送动作,上述第1动作许可状态是由上述第1门状态检测部检测出上述第1门体是上述闭姿势的状态或由上述第1门状态检测部检测出上述第1闭塞体不是上述闭塞状态的状态的某个,上述第2动作许可状态是由上述第2门状态检测部检测出上述第2门体是上述闭姿势的状态或由上述第2门状态检测部检测出上述第2闭塞体不是上述闭塞状态的状态的某个。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造