[发明专利]晶圆环快速换料装置及其方法

权利要求书

1.一种晶圆环快速换料装置，其特征在于：其包含有：

一夹持单元，其具有一上夹模块与一下夹模块，该上夹模块与该下夹模块形成为一双层模块；

一承载单元，其相邻于该夹持单元；以及

至少一供应单元，其相邻于该夹持单元，并且位于相邻该夹持单元且非与该承载单元相同的任一侧；

其中，所述上夹模块系夹持一位于供应单元的晶圆环，并将该晶圆环移动至该承载单元；该下夹模块系夹持一位于该承载单元的晶圆环，并将该晶圆环移动至该供应单元。

2.根据权利要求1所述晶圆环快速换料装置，其特征在于：所述夹持单元更具有一上往复模块与一下往复模块，该上往复模块系耦接该上夹模块，该下往复模块系耦接该下夹模块。

3.根据权利要求2所述晶圆环快速换料装置，其特征在于：所述上往复模块与该下往复模块系同时运作，并于运作时该上往复模块与该下往复模块无须互等。

4.根据权利要求2所述晶圆环快速换料装置，其特征在于：所述夹持单元更具有一导引模块与一放置模块；该上往复模块与该下往复模块系设于该导引模块，该放置模块系设于该导引模块的底端。

5.根据权利要求1所述晶圆环快速换料装置，其特征在于：所述承载单元具有一座环、一上压模块、一支撑模块与一扩张环，该上压模块系设于该座环的顶端；该支撑模块系设于该座环与该上压模块之间；该扩张环系位于该座环的下方。

6.一种晶圆环快速换料方法，其特征在于：其步骤包含有：

提供一晶圆环，一上夹模块系将一晶圆环送至一承载模块中；该晶圆环具有一蓝膜，该蓝膜具有多个晶粒；

扩张该蓝膜，该承载模块系下降一设定距离，以使一扩张环与一上压模块交互作用于该蓝膜，以扩张该蓝膜，并将各晶粒的距离拉开；

挑选该晶粒，一取放单元系吸取位于该蓝膜之晶粒；

更换晶圆环，该承载装置系上升至一最初位置，该上夹模块系将另一晶圆环送入该承载单元中，一下夹模块系将已被吸取该晶粒之晶圆环由该承载单元中取出。

7.根据权利要求6所述晶圆环快速换料方法，其特征在于：所述下夹模块将该已被吸取晶粒之晶圆环移动至一放置模块触处，一加热模块系加热该蓝膜，该下夹模块系将具有已被加热之蓝膜的晶圆环移动至一供应单元。

8.根据权利要求6所述晶圆环快速换料方法，其特征在于：所述承载单元具有一支撑模块，该支撑模块具有至少一支撑条与至少一承接部，当晶圆环位于该承载单元中时，该晶圆环系位于该支撑条上，该承载单元系下降该设定距离，以使该扩张环接触该蓝膜的一面，该支撑条缩回该支撑模块的内部，该承载单元持续下降，该上压模块接触该蓝膜的另一面与该晶圆环的一面，以扩张该蓝膜。

9.根据权利要求6所述晶圆环快速换料方法，其特征在于：所述承载单元具有一支撑模块，该支撑模块具有至少一支撑条与至少一承接部，当晶圆环位于该承载单元中时，该晶圆环系位于该支撑条上，该承载单元系下降该设定距离，以使该扩张环接触该蓝膜的一面，该支撑条未缩回该支撑模块的内部，该承载单元持续下降，该晶圆环离该支撑条，该上压模块接触该蓝膜的另一面与该晶圆环的一面，以扩张该蓝膜。