[发明专利]掩膜板、阵列基板及其制造方法

说明书

本发明公开了掩膜板、阵列基板及其制造方法，掩膜板包括：第一图案化透光区，其形成在掩膜板的一侧；第二图案化透光区，其形成在掩膜板中并处于第一图案化透光区的对侧；第一标记，其形成在第一图案化透光区靠近掩膜板中心的一侧，并距第一图案化透光区第一预设距离；第二标记，其形成在第一图案化透光区远离掩膜板中心的一侧，并距第一图案化透光区第二预设距离。利用该掩膜板制造的阵列基板中某一连接端子区处于悬空状态时，由于栅极走线上覆盖有绝缘层，因此不易受到空气中水汽的腐蚀以及划伤，从而保证了阵列基板的可靠性。

技术领域

本发明涉及液晶显示技术领域，具体地说，涉及掩膜板、阵列基板及其制造方法。

背景技术

液晶显示器具有低辐射、体积小以及低能耗等优点，其已经逐渐取代传统的阴极射线管显示器而广泛地应用在平板电视、个人电脑以及移动显示面板等产品上。

对于大尺寸液晶显示面板来说，由于阵列基板走线较长，线路RC时延以及线路负载较大，因此通常需要采用双边驱动的方式来进行驱动。然而，对于同一款产品，为满足不同客户的需求，液晶显示面板的驱动方式(例如信号反转方式和帧刷新速率等)会有所不同，因此不同的驱动方式可对应不同的电路设计。对于高刷新速率以及点反转驱动的产品，需要的驱动成本相对较高，栅极扫描通常采用双边驱动的方式。

而对于双边驱动的阵列基板，阵列基板会包括两个用于与栅极驱动芯片连接的端子区。当阵列基板采用单边驱动时，现有阵列基板中的两个端子区中的一个将不会焊接栅极驱动芯片，即该端子区将处于悬空状态。而当端子区处于悬空状态时，不仅很容易受到空气中水汽腐蚀，还容易被划伤，从而对阵列基板的质量产生影响。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是为了解决现有的阵列基板由于端子区处于悬空状态而导致端子区被水汽侵蚀或被划伤的问题。为解决上述问题，本发明的一个实施例首先提供了一种掩膜板，所述掩膜板包括：

第一图案化透光区，其形成在所述掩膜板的一侧；

第二图案化透光区，其形成在所述掩膜板中并处于所述第一图案化透光区的对侧；

第一标记，其形成在所述第一图案化透光区靠近所述掩膜板中心的一侧，并距所述第一图案化透光区第一预设距离；

第二标记，其形成在所述第一图案化透光区远离所述掩膜板中心的一侧，并距所述第一图案化透光区第二预设距离。

本发明还提供了一种制造阵列基板的方法，所述方法包括：

在基板上形成栅极走线；

在所述基板和栅极走线上形成绝缘层；

根据所制造的阵列基板的驱动类型，将曝光机内部的挡板调至与掩膜板中的第一标记或第二标记对齐，并对所述栅极走线上覆盖的绝缘层进行刻蚀，以在所述栅极走线上方形成过孔；

在所述绝缘层上形成导电层，所述导电层通过所述过孔与所述栅极走线连接。

根据本发明的一个实施例，所述第一标记形成在所述掩膜板中第一图案化透光区靠近所述掩膜板中心的一侧，并距所述第一图案化透光区第一预设距离。

根据本发明的一个实施例，所述第二标记形成在所述第一图案化透光区远离所述掩膜板中心的一侧，并距所述第一图案化透光区第二预设距离。

根据本发明的一个实施例，所述阵列基板的驱动类型包括单边驱动和双边驱动，其中，

当所制造的阵列基板为单边驱动时，将曝光机内部的挡板调至与掩膜板中的第一标记对齐，以遮挡所述第一图案化透光区；

当所制造的阵列基板为双边驱动时，将曝光机内部的挡板调至与掩膜板中的第二标记对齐，以露出所述第一图案化透光区。