[发明专利]管芯互连体有效
申请号: | 201510145577.6 | 申请日: | 2015-03-30 |
公开(公告)号: | CN104952842B | 公开(公告)日: | 2018-08-31 |
发明(设计)人: | 莱奥那德思·安托尼思·伊丽沙白·范吉莫特;西恩拉德·科内利斯·塔克;马藤·奥尔德森 | 申请(专利权)人: | 恩智浦有限公司 |
主分类号: | H01L23/538 | 分类号: | H01L23/538;H01L21/768 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 倪斌 |
地址: | 荷兰艾*** | 国省代码: | 荷兰;NL |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 悬垂 芯片区域 互连体 耦合点 刚性耦合 柔性耦合 耦合区域 管芯 种管 芯片 | ||
1.管芯互连体,其特征在于,包括:
具有芯片区域的芯片,其中该芯片区域包括:
悬垂区域;
刚性耦合区域,其具有一组刚性耦合点,位于悬垂区域的一侧;和
柔性耦合区域,其具有一组柔性耦合点,位于悬垂区域的与刚性耦合区域相反的一侧;
所述悬垂区域或者柔性耦合区域中设有一组间隔物,所述间隔物设在芯片上;
部分芯片区域与刚性耦合区域或柔性耦合区域之间设有壁垒。
2.如权利要求1所述的互连体,其特征在于,
刚性耦合点是电耦合点;和
柔性耦合点是机械耦合点。
3.如权利要求1所述的互连体,其特征在于,
刚性耦合区域在外边界之内;和
柔性耦合区域和悬垂区域在外边界之外。
4.如权利要求3所述的互连体,其特征在于,外边界包围了超过50%的芯片区域。
5.如权利要求1所述的互连体,其特征在于,芯片通过刚性和柔性耦合点耦合到衬底上。
6.如权利要求5所述的互连体,其特征在于,衬底包括以下组成中的任意一个:第二芯片、电路板、陶瓷衬底和玻璃。
7.如权利要求1所述的互连体,其特征在于,
其中芯片包括位于悬垂区域的压力敏感结构;和
其中压力敏感结构包括以下组成中的任意一个:机械装置、电气装置。
8.如权利要求1所述的互连体,其特征在于,刚性耦合点包括以下组成中的任意一个:各向异性导电胶、导电凸块。
9.如权利要求1所述的互连体,其特征在于,柔性耦合点包括硅树脂胶。
10.如权利要求1所述的互连体,其特征在于,所述壁垒是以下组成中的任意一个:坝、储器、地势、掩膜、和PI。
11.一种管芯互连体,其特征在于,包括:
具有由X轴长度和Y轴宽度定义的芯片区域的芯片,所述芯片区域包括:
具有X轴悬垂长度的悬垂区域,所述X轴悬垂长度至少是芯片区域X轴长度的50%;
刚性耦合区域,具有一组刚性耦合点,位于悬垂区域的一侧;
在所述悬垂区域区域中设置一组间隔物,所述间隔物设在芯片上;
部分芯片区域与刚性耦合区域区域之间设有壁垒。
12.一种制造管芯结构的方法,其特征在于,包括:
在具有芯片区域的芯片内,制造具有一组刚性耦合点的刚性耦合区域;
在芯片区域内且邻近于刚性耦合区域内,界定悬垂区域;和
在芯片区域内且邻近于悬垂区域的与刚性耦合区域相反的一侧,制造具有一组柔性耦合点的柔性耦合区域;
在所述悬垂区域或者柔性耦合区域中设置一组间隔物,所述间隔物设在芯片上;
部分芯片区域与刚性耦合区域或柔性耦合区域之间设有壁垒。
13.如权利要求12所述的方法,其特征在于:进一步包括:
在刚性耦合点和柔性耦合点上,把衬底耦合到芯片。
14.如权利要求12所述的方法,其特征在于:进一步包括:
用以下组成中的任意一个制造刚性耦合点:各向异性导电粘合剂、各向异性导电膜和各向异性导电糊;和
用硅树脂制造柔性耦合点。
15.一种管芯互连体,其特征在于,
具有芯片区域的芯片,其中芯片区域包括:
悬垂区域;
刚性耦合区域,其具有一组刚性耦合点,位于悬垂区域的一侧;和
柔性耦合区域,其具有一组柔性耦合点,邻近位于悬垂区域,且在与刚性耦合区域相同的一侧;
所述悬垂区域或者柔性耦合区域中设有一组间隔物,所述间隔物设在芯片上;
部分芯片区域与刚性耦合区域或柔性耦合区域之间设有壁垒。
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