[发明专利]一种新型高精度微量进给伺服系统及控制方法

权利要求书

1.一种新型高精度微量进给伺服系统，其特征在于，包括两个伺服电机、滚珠丝杠螺母传动副、位移检测装置、位置反馈模块、CNC运动控制器；

其中一个伺服电机A驱动滚珠丝杠螺母传动副的丝杠的旋转，另一个伺服电机B驱动滚珠丝杠螺母传动副的滚珠螺母组件旋转，且两个伺服电机各自通过一套伺服驱动系统驱动；在所述的滚珠螺母组件上固定工作台，用于感应工作台位移的位移检测传感器一端与工作台相连，另一端和位置反馈模块相连，将测得的工作台位移信息反馈到所述位置反馈模块；所述的位置反馈模块将信号反馈到CNC运动控制器中；所述CNC运动控制器，根据工作台给定运动要求，按照设定的算法分配宏动指令给两个伺服驱动系统，两个伺服驱动系统控制丝杠和螺母的各自旋转运动，以控制工作台的微量进给运动。

2. 如权利要求1所述的新型高精度微量进给伺服系统，其特征在于，所述的滚珠丝杠螺母传动副包括一个丝杠和其相配套的滚珠螺母组件；所述的滚珠螺母组件中的滚珠螺母外端面设有法兰结构，并固连有从同步带轮，与固连在伺服电机B轴上的主同步带轮构成同步带传动传递运动。

3. 如权利要求2所述的新型高精度微量进给伺服系统，其特征在于，所述滚珠螺母内表面加工有螺旋滚道，通过钢球滚珠介质和丝杠滚道构成丝杠螺母螺旋传动副，外表面加工有2副轴承滚道，兼作轴承的内环，滚珠螺母的端面设有用于将带轮固连在滚珠螺母上的均布的螺孔。

4. 如权利要求2所述的新型高精度微量进给伺服系统，其特征在于，所述螺母组件还包括法兰套，其内表面设有2副轴承滚道，兼作轴承外环，和滚珠、滚珠保持器、滚珠螺母共同构成复合轴承，用于承受轴向力和径向力；法兰套的端面均布设有用于和工作台支承座相配固联工作台的螺孔，所述伺服电机B固联在所述工作台支承座上，通过所述同步带传动和所述滚珠丝杠螺母副螺旋传动，实现所述工作台的直线移动。

5. 如权利要求2所述的新型高精度微量进给伺服系统，其特征在于，所述丝杠采用“固定—支承”的安装方式，靠近伺服电机A的一端由丝杠固定座约束定位，丝杠固定座内装有一对用来径向、轴向双向定位的角接触球轴承；远离伺服电机A的一端的支承座内装有用来径向定位，而轴向自由的向心球轴承。

6.根据权利要求1所述的新型高精度微量进给伺服系统，其特征在于：通过所述高精度微量进给伺服驱动系统结构能构建单轴的微纳分辨率的高精度伺服工作台、x-y双轴联动高精度伺服工作台以及多轴联动的高精度伺服工作台。