[发明专利]一种晶体硅生长装置

说明书

技术领域

本发明属于无机材料生产领域，具体涉及一种晶体硅生长装置。

背景技术

在现有技术中对于晶体硅生长装置的改造涉及较多，主要是为了保证内部晶体硅的生长均匀，能够生长出质量较好的晶体形态，而能够较大影响其生长质量问题的一大因素便是内部温度的控制，现有技术中对热场内部的温度控制精度交差，其温度的上升与下降受环境影响较大，从而导致内部温度变化较为剧烈，而晶体硅生长需要的条件也比较苛刻，所以较为剧烈的温度变化很容易对晶体硅整体生长造成不利影响，另一方面经过长期研究，固定底座对导热影响也较大，所以固定底座的阻热也是一个需要改进的方向。

晶体生长装置中加热器属于热场的供热元件，在长晶装置中是必不可少的基础构件，现有技术中所采用的加热器种类也比较多，具体有盘绕式加热丝、桶状加热片和矩形加热片，但是由于加热电极只能从加热器的一端接入，所以根据加热器采用的不同材料会导致加热器前期受热不均匀，长期的受热不均会导致加热器局部之间产生差异，而晶体生长比较注重整体成型，所以局部结构的差异会导致内部温度随之产生差异，最终导致晶体生长形态不均匀，对生产的产品整体质量造成较大的影响，所以现有技术中对加热器还需要做进一步的改造，从而达到晶体形态生长均匀的目的。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的不足，而提供一种结构简单、热量散发稳定、热量流动均匀的晶体硅生长装置。

本发明的目的是这样实现的：一种晶体硅生长装置，包括有固定底座、保温外桶、保温内桶、中轴托杆、加热电极、加热器和水冷装置，所述的保温外桶的上端口内侧面上设置有卡环，所述的水冷装置卡放于卡环上，所述的保温内桶设置于保温外桶内部，所述的保温内桶与保温外桶之间填装有石墨毡层，所述的保温内桶内部设置有隔热层，所述的隔热层与保温内桶之间设置有一定的间隔距离，所述的保温外桶侧壁上设置有抽空孔，所述的抽空孔连通隔热层并与内部连通，且连通保温外桶并与外界连通，所述的加热器设置于隔热层内部，所述的加热器内侧面最下边缘位置以加热器中心线为基准线左右对称设置有两个固定耳，所述的固定耳上设置有电极固定孔，所述的加热器内侧面上设置有导热层，所述的加热电极固定在固定耳上设置的电极固定孔上，所述的中轴托杆设置于固定底座中心位置，所述的中轴托杆上端设置有埚托，所述的埚托上设置有坩埚。

所述的水冷装置为盘管式水循环水冷装置。

所述的固定底座为三层石墨层。

所述的抽空孔设置有两个。

所述的隔热层为蜂巢状隔热层。

所述的导热层为铝制网状层。

所述的导热层通过螺钉固定的方式安装在加热器内侧壁上。

所述的加热器侧壁上设置有至少4个导流孔。

所述的加热器及隔热层均为圆柱形桶状结构。

本发明所产生的有益效果是：在保温外桶的上端口内侧面上设置有卡环，可以提供较好的水冷装置限位固定位置，设置的保温内桶与保温外桶起到保温作用，在保温内桶与保温外桶之间填装的石墨毡层具有较好的耐高温特性，使其整体在受热时更加稳定，在保温内桶内部设置的隔热层具有较好的隔热效果，隔热层与保温内桶之间保持一定的距离，使中间形成真空状态，具有较好的隔热效果，其中将隔热层设置为蜂巢状隔热层，使其局部构造更加复杂，具有较好的圈热效果，能够是热量的散发更加缓慢均匀，便于内部晶体的成型；在保温外桶底部设置的抽空孔提供空气抽滤位置，使其对内部的空气抽滤更加方便；